静电卡盘加热控制装置及静电卡盘

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410487816.5

申请日：

2024-04-23

公开(公告)号：

CN118092547B

公开(公告)日：

2024-08-30

发明(设计)人：

沈美根刘芳邵亚利李东镁解尧明王异凡曾明全

申请人：

北京智芯微电子科技有限公司国网浙江省电力有限公司电力科学研究院国家电网有限公司

申请人地址：

100192 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼

IPC主分类号：

G05D23/30

IPC分类号：

H01L21/683 H01L21/67 H01J37/32

代理机构：

北京润平知识产权代理有限公司 11283

代理人：

封瑛

法律状态：

授权

国省代码：

北京市市辖区

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-30	授权	授权
2024-05-28	公开	公开
2024-06-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G05D 23/30申请日:20240423

共 50 条

[1]

静电卡盘加热控制装置及静电卡盘 [P].

沈美根 ;

刘芳 ;

邵亚利 ;

李东镁 ;

解尧明 ;

王异凡 ;

曾明全 .

中国专利 :CN118092547A ,2024-05-28

[2]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120418951A ,2025-08-01

[3]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

大石健太 ;

三浦幸夫 ;

前田进一 ;

森下德人 .

日本专利 :CN118830073A ,2024-10-22

[4]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120283298A ,2025-07-08

[5]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

金原勇贵 ;

一由拓 ;

乾敏祥 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120660184A ,2025-09-16

[6]

静电卡盘 [P].

蒋昊延 ;

G·克里希纳 .

:CN308898694S ,2024-10-22

[7]

静电卡盘 [P].

相川贤一郎 ;

渡边守道 ;

神藤明日美 ;

胜田祐司 ;

佐藤洋介 ;

矶田佳范 .

中国专利 :CN103180266B ,2013-06-26

[8]

静电卡盘装置 [P].

朱煜 ;

徐登峰 ;

许岩 ;

杨鹏远 ;

穆海华 ;

成荣 ;

唐娜娜 ;

韩玮琦 ;

张鸣 ;

杨开明 .

中国专利 :CN107154376A ,2017-09-12

[9]

静电卡盘装置 [P].

朱煜 ;

徐登峰 ;

杨鹏远 ;

成荣 ;

许岩 ;

穆海华 ;

王建冲 ;

唐娜娜 .

中国专利 :CN205406505U ,2016-07-27

[10]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

乾敏祥 ;

一由拓 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118339645A ,2024-07-12

← 1 2 3 4 5 →