静电卡盘部件及静电卡盘装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380082277.0

申请日：

2023-12-04

公开(公告)号：

CN120283298A

公开(公告)日：

2025-07-08

发明(设计)人：

金原勇贵乾敏祥一由拓菅又彻

申请人：

住友大阪水泥股份有限公司

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H01L21/3065

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

杨楷;毛立群

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-08	公开	公开
2025-07-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20231204

共 50 条

[1]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120418951A ,2025-08-01

[2]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN118830071A ,2024-10-22

[3]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

大石健太 ;

三浦幸夫 ;

前田进一 ;

森下德人 .

日本专利 :CN118830073A ,2024-10-22

[4]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

金原勇贵 ;

一由拓 ;

乾敏祥 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120660184A ,2025-09-16

[5]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

乾敏祥 ;

一由拓 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118339645A ,2024-07-12

[6]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

一由拓 ;

乾敏祥 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118355482A ,2024-07-16

[7]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

吉冈良树 ;

钉本弘训 ;

高桥健太郎 .

日本专利 :CN118805247A ,2024-10-18

[8]

静电卡盘用部件以及静电卡盘 [P].

堀内道夫 ;

津野将弥 .

中国专利 :CN114068384A ,2022-02-18

[9]

复合烧结体、静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

日高宣浩 ;

钉本弘训 .

中国专利 :CN110248910B ,2019-09-17

[10]

复合烧结体、静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

日高宣浩 ;

钉本弘训 .

中国专利 :CN110709367B ,2020-01-17

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