共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
复合烧结体、静电卡盘部件及静电卡盘装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880008846.6
申请日：
2018-02-19
公开(公告)号：
CN110248910B
公开(公告)日：
2019-09-17
发明(设计)人：
日高宣浩
钉本弘训
申请人：
申请人地址：
日本国东京都
IPC主分类号：
C04B35117
IPC分类号：
H01L21683
代理机构：
上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291
代理人：
毛立群
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-17 | 公开 | 公开 |
| 2020-01-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/117 申请日:20180219 |
| 2022-09-09 | 授权 | 授权 |