复合烧结体、静电卡盘部件、静电卡盘装置及复合烧结体的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880021173.8

申请日：

2018-03-26

公开(公告)号：

CN110461797A

公开(公告)日：

2019-11-15

发明(设计)人：

日高宣浩木村直人

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

C04B35117

IPC分类号：

H01L213065 H01L21683 H02N1300

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

毛立群

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-15	公开	公开
2020-04-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/117 申请日:20180326

共 50 条

[1]

复合烧结体、静电卡盘部件、静电卡盘装置及复合烧结体的制造方法 [P].

日高宣浩 ;

大友惠 ;

有川纯 .

中国专利 :CN113874336A ,2021-12-31

[2]

复合烧结体、静电卡盘部件、静电卡盘装置及复合烧结体的制造方法 [P].

日高宣浩 ;

木村直人 .

中国专利 :CN111886213B ,2020-11-03

[3]

复合烧结体、静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

日高宣浩 ;

钉本弘训 .

中国专利 :CN110248910B ,2019-09-17

[4]

复合烧结体、静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

日高宣浩 ;

钉本弘训 .

中国专利 :CN110709367B ,2020-01-17

[5]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

乾敏祥 ;

一由拓 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118339645A ,2024-07-12

[6]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN118830071A ,2024-10-22

[7]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

一由拓 ;

乾敏祥 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118355482A ,2024-07-16

[8]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

吉冈良树 ;

钉本弘训 ;

高桥健太郎 .

日本专利 :CN118805247A ,2024-10-18

[9]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

钉本弘训 ;

森下徳人 .

中国专利 :CN111868913A ,2020-10-30

[10]

复合烧结体及复合烧结体的制造方法 [P].

村井刚志 .

日本专利 :CN118478007A ,2024-08-13

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