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静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380024977.4
申请日：
2023-03-15
公开(公告)号：
CN118805247A
公开(公告)日：
2024-10-18
发明(设计)人：
吉冈良树
钉本弘训
高桥健太郎
申请人：
住友大阪水泥股份有限公司
申请人地址：
日本国东京都
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H02N13/00
代理机构：
上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291
代理人：
杨楷;毛立群
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20230315 |
| 2024-10-18 | 公开 | 公开 |