复合烧结体、静电卡盘部件及静电卡盘装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880034373.7

申请日：

2018-06-28

公开(公告)号：

CN110709367B

公开(公告)日：

2020-01-17

发明(设计)人：

日高宣浩钉本弘训

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

C04B3510

IPC分类号：

C04B35185 H01L21683

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

毛立群

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-23	授权	授权
2020-07-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/10 申请日:20180628
2020-01-17	公开	公开

共 50 条

[1]

复合烧结体、静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

日高宣浩 ;

钉本弘训 .

中国专利 :CN110248910B ,2019-09-17

[2]

复合烧结体、静电卡盘部件、静电卡盘装置及复合烧结体的制造方法 [P].

日高宣浩 ;

木村直人 .

中国专利 :CN110461797A ,2019-11-15

[3]

复合烧结体、静电卡盘部件、静电卡盘装置及复合烧结体的制造方法 [P].

日高宣浩 ;

大友惠 ;

有川纯 .

中国专利 :CN113874336A ,2021-12-31

[4]

复合烧结体、静电卡盘部件、静电卡盘装置及复合烧结体的制造方法 [P].

日高宣浩 ;

木村直人 .

中国专利 :CN111886213B ,2020-11-03

[5]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120418951A ,2025-08-01

[6]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

大石健太 ;

三浦幸夫 ;

前田进一 ;

森下德人 .

日本专利 :CN118830073A ,2024-10-22

[7]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120283298A ,2025-07-08

[8]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

金原勇贵 ;

一由拓 ;

乾敏祥 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120660184A ,2025-09-16

[9]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

乾敏祥 ;

一由拓 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118339645A ,2024-07-12

[10]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN118830071A ,2024-10-22

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