膜厚自动控制镀膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922487201.X

申请日：

2019-12-31

公开(公告)号：

CN211570764U

公开(公告)日：

2020-09-25

发明(设计)人：

孙桂红黄乐黄国兴祝海生陈立金诚明唐洪波唐莲寇立杨恒

申请人：

申请人地址：

411100 湖南省湘潭市九华经济区盛世路8号

IPC主分类号：

C23C1454

IPC分类号：

C23C1435 C23C1450

代理机构：

上海精晟知识产权代理有限公司 31253

代理人：

周琼

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种膜厚自动控制镀膜机 [P].

康彬雁 ;

刘陈 ;

许雷 ;

程泽涛 ;

王浩宇 ;

杨骏驰 .

中国专利 :CN217230903U ,2022-08-19

[2]

一种镀膜机自动控制膜厚度的方法 [P].

唐洪波 ;

黄乐 ;

孙桂红 ;

黄国兴 ;

祝海生 .

中国专利 :CN112481597A ,2021-03-12

[3]

光学镀膜机全自动控制装置 [P].

潘振强 ;

梁铁珊 .

中国专利 :CN202482429U ,2012-10-10

[4]

真空溅射镀膜机膜厚调节装置 [P].

李德勇 .

中国专利 :CN206502854U ,2017-09-19

[5]

溅射镀膜机膜厚监测方法 [P].

孙桂红 ;

黄国兴 ;

祝海生 ;

唐洪波 ;

黄乐 .

中国专利 :CN112981358A ,2021-06-18

[6]

镀膜机膜厚分布修正结构 [P].

朱文斌 .

中国专利 :CN205529023U ,2016-08-31

[7]

蒸发镀膜机膜厚修正挡板机构及镀膜机 [P].

战永刚 ;

尹强 ;

战捷 ;

周林 .

中国专利 :CN114990516A ,2022-09-02

[8]

镀膜机真空室温度自动控制装置及真空镀膜机 [P].

郑刚良 ;

苗苗 ;

杜庆荣 ;

安琪 ;

张金伶 .

中国专利 :CN201981256U ,2011-09-21

[9]

镀膜膜厚在线监测方法和镀膜机 [P].

李鑫 ;

王之琦 ;

龚渤 .

中国专利 :CN112504143A ,2021-03-16

[10]

立式真空溅射镀膜机膜厚调节装置 [P].

李德勇 .

中国专利 :CN206502853U ,2017-09-19

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