镀膜膜厚在线监测方法和镀膜机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011361770.0

申请日：

2020-11-27

公开(公告)号：

CN112504143A

公开(公告)日：

2021-03-16

发明(设计)人：

李鑫王之琦龚渤

申请人：

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区黎里镇318国道74K处芦墟段北侧

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

C23C1424 C23C1454

代理机构：

苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙) 32277

代理人：

马小慧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20201127
2021-03-16	公开	公开

共 50 条

[1]

溅射镀膜机膜厚监测方法 [P].

孙桂红 ;

黄国兴 ;

祝海生 ;

唐洪波 ;

黄乐 .

中国专利 :CN112981358A ,2021-06-18

[2]

蒸发镀膜机膜厚修正挡板机构及镀膜机 [P].

战永刚 ;

尹强 ;

战捷 ;

周林 .

中国专利 :CN114990516A ,2022-09-02

[3]

膜厚自动控制镀膜机 [P].

孙桂红 ;

黄乐 ;

黄国兴 ;

祝海生 ;

陈立 ;

金诚明 ;

唐洪波 ;

唐莲 ;

寇立 ;

杨恒 .

中国专利 :CN211570764U ,2020-09-25

[4]

镀膜机膜厚分布修正结构 [P].

朱文斌 .

中国专利 :CN205529023U ,2016-08-31

[5]

镀膜机的设备监测方法、装置及镀膜机 [P].

冀鸣 ;

易洪波 ;

刘伟基 ;

赵刚 .

中国专利 :CN113897587B ,2024-03-01

[6]

镀膜机的设备监测方法、装置及镀膜机 [P].

冀鸣 ;

易洪波 ;

刘伟基 ;

赵刚 .

中国专利 :CN113897587A ,2022-01-07

[7]

镀膜机及镀膜方法 [P].

郭友根 .

中国专利 :CN107841724A ,2018-03-27

[8]

真空溅射镀膜机膜厚调节装置 [P].

李德勇 .

中国专利 :CN206502854U ,2017-09-19

[9]

镀膜机夹具及镀膜机 [P].

赵进飞 .

中国专利 :CN107699890B ,2018-02-16

[10]

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222593992U ,2025-03-11

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