一种薄膜多点测厚装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202021196484.9
申请日
2020-06-24
公开(公告)号
CN212320672U
公开(公告)日
2021-01-08
发明(设计)人
汪圣龙 刘坤 华周发 蒋中林
申请人
申请人地址
252000 山东省聊城市高新技术产业开发区中华路东天津路南
IPC主分类号
G01B2108
IPC分类号
G01B2100
代理机构
天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201
代理人
潘俊达;郭宝煊
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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