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一种退火装置及退火方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201811260990.7
申请日
:
2018-10-26
公开(公告)号
:
CN109355477B
公开(公告)日
:
2019-02-19
发明(设计)人
:
项安华
申请人
:
申请人地址
:
325000 浙江省温州市经济技术开发区滨海五道289号
IPC主分类号
:
C21D126
IPC分类号
:
C21D900
C21D1100
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-02-19
公开
公开
2019-03-15
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C21D 1/26 申请日:20181026
2020-09-01
授权
授权
共 50 条
[1]
一种退火装置及退火方法
[P].
金一诺
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
盛美半导体设备(上海)股份有限公司
盛美半导体设备(上海)股份有限公司
金一诺
;
杨宏超
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
盛美半导体设备(上海)股份有限公司
盛美半导体设备(上海)股份有限公司
杨宏超
.
中国专利
:CN120878580A
,2025-10-31
[2]
一种退火装置及退火方法
[P].
肖平
论文数:
0
引用数:
0
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0
肖平
;
赵建勇
论文数:
0
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0
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0
赵建勇
;
杨永军
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0
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0
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0
杨永军
;
赵东明
论文数:
0
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0
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0
赵东明
;
赵志国
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0
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0
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0
赵志国
;
李新连
论文数:
0
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0
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0
李新连
;
刘祥
论文数:
0
引用数:
0
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0
刘祥
.
中国专利
:CN115472496A
,2022-12-13
[3]
一种退火装置及退火方法
[P].
肖平
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
华能新能源股份有限公司
华能新能源股份有限公司
肖平
;
赵建勇
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0
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0
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0
机构:
华能新能源股份有限公司
华能新能源股份有限公司
赵建勇
;
杨永军
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0
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机构:
华能新能源股份有限公司
华能新能源股份有限公司
杨永军
;
赵东明
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0
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0
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机构:
华能新能源股份有限公司
华能新能源股份有限公司
赵东明
;
赵志国
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0
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机构:
华能新能源股份有限公司
华能新能源股份有限公司
赵志国
;
李新连
论文数:
0
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机构:
华能新能源股份有限公司
华能新能源股份有限公司
李新连
;
刘祥
论文数:
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机构:
华能新能源股份有限公司
华能新能源股份有限公司
刘祥
.
中国专利
:CN115472496B
,2025-07-29
[4]
一种退火方法以及退火装置
[P].
请求不公布姓名
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
苏州材装半导体设备有限公司
苏州材装半导体设备有限公司
请求不公布姓名
;
请求不公布姓名
论文数:
0
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0
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机构:
苏州材装半导体设备有限公司
苏州材装半导体设备有限公司
请求不公布姓名
;
请求不公布姓名
论文数:
0
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机构:
苏州材装半导体设备有限公司
苏州材装半导体设备有限公司
请求不公布姓名
.
中国专利
:CN120916626A
,2025-11-07
[5]
退火装置及退火方法
[P].
谢博钧
论文数:
0
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0
h-index:
0
谢博钧
.
中国专利
:CN104124400A
,2014-10-29
[6]
退火装置及退火方法
[P].
田中哲平
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
住友重机械工业株式会社
住友重机械工业株式会社
田中哲平
.
日本专利
:CN113169053B
,2024-11-15
[7]
退火装置及退火方法
[P].
田中哲平
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
田中哲平
.
中国专利
:CN113169053A
,2021-07-23
[8]
退火装置及退火方法
[P].
王建卫
论文数:
0
引用数:
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0
王建卫
;
沈一春
论文数:
0
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0
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沈一春
;
庄卫星
论文数:
0
引用数:
0
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0
庄卫星
;
张贤根
论文数:
0
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0
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张贤根
;
施敏丰
论文数:
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引用数:
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0
施敏丰
.
中国专利
:CN109371472A
,2019-02-22
[9]
退火装置及退火方法
[P].
贺凯华
论文数:
0
引用数:
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0
贺凯华
.
中国专利
:CN107799395A
,2018-03-13
[10]
一种薄膜退火装置及退火方法
[P].
朱鹤东
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
上海紫江新材料应用技术有限公司
上海紫江新材料应用技术有限公司
朱鹤东
;
贺爱忠
论文数:
0
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机构:
上海紫江新材料应用技术有限公司
上海紫江新材料应用技术有限公司
贺爱忠
;
何治中
论文数:
0
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0
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机构:
上海紫江新材料应用技术有限公司
上海紫江新材料应用技术有限公司
何治中
.
中国专利
:CN120096122A
,2025-06-06
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