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一种退火方法以及退火装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511261370.5
申请日：
2025-09-05
公开(公告)号：
CN120916626A
公开(公告)日：
2025-11-07
发明(设计)人：
请求不公布姓名 请求不公布姓名 请求不公布姓名
申请人：
苏州材装半导体设备有限公司
申请人地址：
215500 江苏省苏州市常熟经济技术开发区永嘉路99号常熟滨江国际贸易中心1幢201
IPC主分类号：
H10K71/40
IPC分类号：
H10K85/50 F27B17/00 F27D19/00
代理机构：
苏州领跃知识产权代理有限公司 32370
代理人：
刘思雅
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省 苏州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-11-07 公开 公开
2025-11-25 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H10K 71/40申请日:20250905
共 50 条
[1]
一种加热方法、退火方法以及退火设备 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN121222654A ,2025-12-30
[2]
一种退火装置及退火方法 [P]. 
项安华 .
中国专利 :CN109355477B ,2019-02-19
[3]
一种晶圆槽退火装置以及退火方法 [P]. 
吕孙赵 ;
曾进平 ;
刘力 ;
唐东峰 .
中国专利 :CN120656974A ,2025-09-16
[4]
一种退火用载具以及退火装置 [P]. 
倪朗 ;
孙森 .
中国专利 :CN221460496U ,2024-08-02
[5]
一种退火装置及退火方法 [P]. 
金一诺 ;
杨宏超 .
中国专利 :CN120878580A ,2025-10-31
[6]
一种退火装置及退火方法 [P]. 
肖平 ;
赵建勇 ;
杨永军 ;
赵东明 ;
赵志国 ;
李新连 ;
刘祥 .
中国专利 :CN115472496A ,2022-12-13
[7]
一种退火装置及退火方法 [P]. 
肖平 ;
赵建勇 ;
杨永军 ;
赵东明 ;
赵志国 ;
李新连 ;
刘祥 .
中国专利 :CN115472496B ,2025-07-29
[8]
一种铜带退火装置 [P]. 
傅月宝 ;
杨东 ;
曹良良 ;
盛振宇 ;
徐伟伟 ;
刘洪昌 .
中国专利 :CN118460835A ,2024-08-09
[9]
退火方法、退火夹具和退火装置 [P]. 
平野兼史 ;
花户宏之 ;
仲桥孝博 .
中国专利 :CN104582940A ,2015-04-29
[10]
退火用载具以及退火装置 [P]. 
王新强 ;
袁冶 ;
刘上锋 ;
罗巍 ;
康俊杰 ;
李泰 .
中国专利 :CN217809783U ,2022-11-15
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