一种金刚线切割单晶硅的制绒方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811591943.0

申请日：

2018-12-25

公开(公告)号：

CN109487342A

公开(公告)日：

2019-03-19

发明(设计)人：

赵迎财金井升张昕宇

申请人：

申请人地址：

314416 浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号

IPC主分类号：

C30B3310

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

赵青朵

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 33/10 申请日:20181225
2019-03-19	公开	公开
2021-11-26	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/306 申请公布日:20190319

共 50 条

[1]

金刚线切割单晶硅表面制绒方法 [P].

包大新 ;

陈健生 ;

黄仕华 ;

王佳 .

中国专利 :CN109267154A ,2019-01-25

[2]

一种金刚线切割多晶硅的制绒方法 [P].

赵迎财 ;

金井升 ;

张昕宇 .

中国专利 :CN109680337A ,2019-04-26

[3]

一种单晶硅棒金刚线切割液 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN116333804B ,2024-11-19

[4]

金刚线切割单晶硅片快速清洗制绒工艺 [P].

陈刚刚 ;

安百俊 ;

李归利 ;

崔智秋 .

中国专利 :CN105914259A ,2016-08-31

[5]

一种单晶硅金刚线切割装置 [P].

黄家旺 .

中国专利 :CN108789889B ,2020-10-27

[6]

固结金刚石线切割单晶硅片的制绒方法 [P].

叶俊 ;

赵芳芳 ;

赵宇 .

中国专利 :CN103184525A ,2013-07-03

[7]

一种金刚线切割单晶硅片的倒金字塔结构制绒方法 [P].

彭晓晨 ;

管自生 ;

万鹏 .

中国专利 :CN111041562A ,2020-04-21

[8]

一种单晶硅制绒添加剂以及单晶硅制绒工艺 [P].

陆海斌 ;

石劲超 .

中国专利 :CN102115915B ,2011-07-06

[9]

用于金刚线切割单晶硅片制绒的添加剂及其应用方法 [P].

夏庆华 ;

斯小阳 ;

姚伟明 .

中国专利 :CN106222756A ,2016-12-14

[10]

一种基于金刚线切割的单晶硅片的湿法制绒方法 [P].

余学功 ;

陈林 ;

杨德仁 ;

路景刚 .

中国专利 :CN102560685A ,2012-07-11

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