金刚线切割单晶硅表面制绒方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811139690.3

申请日：

2018-09-28

公开(公告)号：

CN109267154A

公开(公告)日：

2019-01-25

发明(设计)人：

包大新陈健生黄仕华王佳

申请人：

申请人地址：

322118 浙江省金华市东阳市横店工业区

IPC主分类号：

C30B3310

IPC分类号：

C30B2906 H01L3118 H01L310236

代理机构：

杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216

代理人：

朱枫

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B 33/10 申请公布日:20190125
2019-01-25	公开	公开
2019-02-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 33/10 申请日:20180928

共 50 条

[1]

一种金刚线切割单晶硅的制绒方法 [P].

赵迎财 ;

金井升 ;

张昕宇 .

中国专利 :CN109487342A ,2019-03-19

[2]

单晶硅表面制绒方法 [P].

包大新 ;

陈健生 ;

黄仕华 ;

王佳 .

中国专利 :CN109301032A ,2019-02-01

[3]

金刚线切割单晶硅片快速清洗制绒工艺 [P].

陈刚刚 ;

安百俊 ;

李归利 ;

崔智秋 .

中国专利 :CN105914259A ,2016-08-31

[4]

单晶硅表面处理用的制绒添加剂、制绒剂以及单晶硅表面制绒的方法 [P].

李然 ;

范云堂 ;

程寒松 ;

闫缓 .

中国专利 :CN111485290B ,2020-08-04

[5]

金刚线切割单晶硅片制绒用添加剂及其应用 [P].

张丽娟 ;

周树伟 ;

陈培良 .

中国专利 :CN111663186A ,2020-09-15

[6]

用于金刚线切割单晶硅片制绒的添加剂及其应用方法 [P].

夏庆华 ;

斯小阳 ;

姚伟明 .

中国专利 :CN106222756A ,2016-12-14

[7]

一种单晶硅金刚线切割装置 [P].

黄家旺 .

中国专利 :CN108789889B ,2020-10-27

[8]

固结金刚石线切割单晶硅片的制绒方法 [P].

叶俊 ;

赵芳芳 ;

赵宇 .

中国专利 :CN103184525A ,2013-07-03

[9]

一种金刚线切割单晶硅片的倒金字塔结构制绒方法 [P].

彭晓晨 ;

管自生 ;

万鹏 .

中国专利 :CN111041562A ,2020-04-21

[10]

金刚线切割硅片制绒返工方法 [P].

梅楼建 .

中国专利 :CN111146085A ,2020-05-12

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