金刚线切割硅片制绒返工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911405980.2

申请日：

2019-12-31

公开(公告)号：

CN111146085A

公开(公告)日：

2020-05-12

发明(设计)人：

梅楼建

申请人：

申请人地址：

226000 江苏省南通市开发区海德路2号1幢11187室

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

H01L3120 H01L310236

代理机构：

南京源古知识产权代理事务所(普通合伙) 32300

代理人：

马晓辉

法律状态：

发明专利申请公布后的撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-16	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/306 申请公布日:20200512
2020-06-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/306 申请日:20191231
2020-05-12	公开	公开

共 50 条

[1]

基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法及硅片制绒方法 [P].

应智琴 ;

叶继春 ;

高平奇 ;

韩灿 ;

廖明墩 .

中国专利 :CN104962998A ,2015-10-07

[2]

基于金刚线切割的硅片的制绒方法、硅片制绒品及硅片制绒预处理液 [P].

廖明墩 ;

叶继春 ;

高平奇 ;

应智琴 ;

韩灿 .

中国专利 :CN104962999A ,2015-10-07

[3]

一种金刚线切割硅片的制绒方法 [P].

李毕武 ;

刘振淮 ;

黄振飞 .

中国专利 :CN102220645B ,2011-10-19

[4]

金刚线切割单晶硅表面制绒方法 [P].

包大新 ;

陈健生 ;

黄仕华 ;

王佳 .

中国专利 :CN109267154A ,2019-01-25

[5]

一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法 [P].

管自生 ;

李军 ;

沈志妹 ;

陆春华 ;

许仲梓 .

中国专利 :CN105810761B ,2016-07-27

[6]

一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法 [P].

万鹏 ;

沈志妹 ;

侯成成 ;

刘晓瑞 .

中国专利 :CN107658221B ,2018-02-02

[7]

一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺 [P].

刘瑞鸿 ;

姬俊杰 ;

冯永康 ;

余刚 ;

常传波 .

中国专利 :CN112201724A ,2021-01-08

[8]

一种基于金刚线切割硅片的制绒工艺 [P].

徐永洋 ;

段少雷 .

中国专利 :CN107623054A ,2018-01-23

[9]

一种金刚线切割多晶硅片的单面制绒方法及单面制绒的金刚线切割多晶硅片 [P].

付红平 ;

章金兵 ;

彭也庆 .

中国专利 :CN105576080A ,2016-05-11

[10]

金刚线切割单晶硅片快速清洗制绒工艺 [P].

陈刚刚 ;

安百俊 ;

李归利 ;

崔智秋 .

中国专利 :CN105914259A ,2016-08-31

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