高精度薄膜应力实时测量装置及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610118432.8

申请日：

2006-11-17

公开(公告)号：

CN1971248A

公开(公告)日：

2007-05-30

发明(设计)人：

申雁鸣朱美萍郭世海夏志林邵建达贺洪波易葵范正修邵淑英

申请人：

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01N2119

IPC分类号：

G01L124

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-07-25	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-05-30	公开	公开
2009-08-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

高精度薄膜应力实时测量装置 [P].

申雁鸣 ;

朱美萍 ;

郭世海 ;

夏志林 ;

邵建达 ;

贺洪波 ;

易葵 ;

范正修 ;

邵淑英 .

中国专利 :CN200972452Y ,2007-11-07

[2]

薄膜应力测量装置及其测量方法 [P].

申雁鸣 ;

袁磊 ;

邵淑英 ;

范正修 ;

贺洪波 ;

易葵 ;

邵建达 .

中国专利 :CN100494929C ,2007-09-05

[3]

薄膜应力测量装置 [P].

申雁鸣 ;

袁磊 ;

邵淑英 ;

范正修 ;

贺洪波 ;

易葵 ;

邵建达 .

中国专利 :CN201043921Y ,2008-04-02

[4]

双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置及其测量方法 [P].

朱冠超 ;

方明 ;

申雁鸣 ;

易葵 .

中国专利 :CN101251472A ,2008-08-27

[5]

薄膜应力测量设备及其测量方法 [P].

徐建康 .

中国专利 :CN102023068A ,2011-04-20

[6]

高精度光学间隔测量装置和测量方法 [P].

杨宝喜 ;

魏张帆 ;

胡小邦 ;

李璟 ;

陈明 ;

朱菁 ;

薛佩佩 ;

黄惠杰 .

中国专利 :CN104215176A ,2014-12-17

[7]

高精度机械测量方法及其装置 [P].

李润洲 .

中国专利 :CN86101052A ,1987-01-24

[8]

精度测量装置及精度测量方法 [P].

王文鹏 ;

张立伟 ;

魏渊博 ;

乔林春 ;

李英俊 .

中国专利 :CN120940405A ,2025-11-14

[9]

高精度平面度在线测量装置及测量方法 [P].

张辉 ;

王东方 ;

李全松 ;

崔庆龙 ;

杨怀江 ;

隋永新 .

中国专利 :CN105444724A ,2016-03-30

[10]

桥梁裂缝宽度高精度测量方法及测量装置 [P].

赵健康 ;

吴向东 ;

刘传奇 ;

董星煜 ;

徐立成 .

中国专利 :CN110533713A ,2019-12-03

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