双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置及其测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810034820.7

申请日：

2008-03-19

公开(公告)号：

CN101251472A

公开(公告)日：

2008-08-27

发明(设计)人：

朱冠超方明申雁鸣易葵

申请人：

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01N2117

IPC分类号：

G01B1106 G06F1900

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101582162359 IPC(主分类):G01N 21/17 专利号:ZL2008100348207 申请日:20080319 授权公告日:20100602 终止日期:20130319
2008-08-27	公开	公开
2008-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-06-02	授权	授权

共 50 条

[1]

双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置 [P].

朱冠超 ;

方明 ;

申雁鸣 ;

易葵 .

中国专利 :CN201173895Y ,2008-12-31

[2]

高精度薄膜应力实时测量装置及测量方法 [P].

申雁鸣 ;

朱美萍 ;

郭世海 ;

夏志林 ;

邵建达 ;

贺洪波 ;

易葵 ;

范正修 ;

邵淑英 .

中国专利 :CN1971248A ,2007-05-30

[3]

薄膜应力测量装置及其测量方法 [P].

申雁鸣 ;

袁磊 ;

邵淑英 ;

范正修 ;

贺洪波 ;

易葵 ;

邵建达 .

中国专利 :CN100494929C ,2007-09-05

[4]

一种玻璃材料应力的在线实时测量系统及其测量方法 [P].

尚奇 ;

陆健 ;

张宏超 .

中国专利 :CN110836740A ,2020-02-25

[5]

一种光学薄膜应力光学系数的测量方法 [P].

刘华松 ;

姜玉刚 ;

刘丹丹 ;

季一勤 ;

姜承慧 ;

王利栓 ;

杨霄 .

中国专利 :CN104359600B ,2015-02-18

[6]

薄膜应力测量设备及其测量方法 [P].

徐建康 .

中国专利 :CN102023068A ,2011-04-20

[7]

高精度薄膜应力实时测量装置 [P].

申雁鸣 ;

朱美萍 ;

郭世海 ;

夏志林 ;

邵建达 ;

贺洪波 ;

易葵 ;

范正修 ;

邵淑英 .

中国专利 :CN200972452Y ,2007-11-07

[8]

用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法 [P].

王渤帆 ;

李中梁 ;

王向朝 ;

步扬 .

中国专利 :CN102168944B ,2011-08-31

[9]

阵列光束薄膜应力测量装置 [P].

方运 ;

王逸群 ;

王玮 ;

张永红 ;

朱建军 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN102636302A ,2012-08-15

[10]

一种非晶态光学薄膜微区应力的测量方法 [P].

季一勤 ;

刘华松 ;

刘丹丹 ;

姜承慧 ;

王利栓 ;

杨霄 ;

孙鹏 ;

冷健 .

中国专利 :CN104568248A ,2015-04-29

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