双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200820056374.5

申请日：

2008-03-19

公开(公告)号：

CN201173895Y

公开(公告)日：

2008-12-31

发明(设计)人：

朱冠超方明申雁鸣易葵

申请人：

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01N2117

IPC分类号：

G01B1106 G06F1900

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-12-31	授权	授权
2010-08-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101004347139 IPC(主分类):G01N 21/17 专利号:ZL2008200563745 申请日:20080319 授权公告日:20081231

共 50 条

[1]

双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置及其测量方法 [P].

朱冠超 ;

方明 ;

申雁鸣 ;

易葵 .

中国专利 :CN101251472A ,2008-08-27

[2]

光学薄膜厚度在线实时监控仪 [P].

韩军 ;

弥谦 ;

权贵秦 .

中国专利 :CN2552943Y ,2003-05-28

[3]

高精度薄膜应力实时测量装置 [P].

申雁鸣 ;

朱美萍 ;

郭世海 ;

夏志林 ;

邵建达 ;

贺洪波 ;

易葵 ;

范正修 ;

邵淑英 .

中国专利 :CN200972452Y ,2007-11-07

[4]

阵列激光束光学薄膜应力在线监测方法及系统 [P].

潘永刚 ;

林兆文 ;

董所涛 ;

王奔 ;

付秀华 ;

王会会 .

中国专利 :CN119125083A ,2024-12-13

[5]

阵列光束薄膜应力测量装置 [P].

方运 ;

王逸群 ;

王玮 ;

张永红 ;

朱建军 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN102636302A ,2012-08-15

[6]

高精度薄膜应力实时测量装置及测量方法 [P].

申雁鸣 ;

朱美萍 ;

郭世海 ;

夏志林 ;

邵建达 ;

贺洪波 ;

易葵 ;

范正修 ;

邵淑英 .

中国专利 :CN1971248A ,2007-05-30

[7]

光学薄膜测量设备 [P].

毛宗钦 ;

刘军凯 ;

孙思华 .

中国专利 :CN306776138S ,2021-08-24

[8]

光学薄膜的制造方法、光学薄膜及光学薄膜的制造装置 [P].

仲井宏太 ;

田中悟 ;

须藤定治 .

中国专利 :CN103119482A ,2013-05-22

[9]

光学薄膜及其具有该光学薄膜的外壳 [P].

高育龙 ;

王贵生 ;

杨广舟 ;

洪莘 .

中国专利 :CN207764397U ,2018-08-24

[10]

光学薄膜及具有该光学薄膜的外壳 [P].

高育龙 ;

洪莘 ;

刘立冬 ;

游伟 .

中国专利 :CN207181730U ,2018-04-03

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