光学薄膜厚度在线实时监控仪

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN02224851.X

申请日：

2002-04-30

公开(公告)号：

CN2552943Y

公开(公告)日：

2003-05-28

发明(设计)人：

韩军弥谦权贵秦

申请人：

申请人地址：

710032陕西省西安市金花北路4号

IPC主分类号：

C23C1452

IPC分类号：

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司

代理人：

李郑建

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-05-28	授权	授权
2005-06-29	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止

共 50 条

[1]

一种实时光学薄膜厚度监控设备 [P].

黄光周 ;

于继荣 ;

刘雄英 .

中国专利 :CN2833515Y ,2006-11-01

[2]

光学薄膜厚度监测装置及光学薄膜镀膜系统 [P].

范卫星 ;

潘文创 ;

沈灿彬 ;

范心怡 .

中国专利 :CN120272872A ,2025-07-08

[3]

双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置 [P].

朱冠超 ;

方明 ;

申雁鸣 ;

易葵 .

中国专利 :CN201173895Y ,2008-12-31

[4]

光学薄膜相位差在线监控系统及镀膜厚度监控方法 [P].

潘永刚 ;

董所涛 ;

王奔 ;

林兆文 ;

付秀华 ;

林芝庆 .

中国专利 :CN118443578A ,2024-08-06

[5]

一种光学薄膜厚度监控系统 [P].

范卫星 ;

潘文创 ;

沈灿彬 ;

范心怡 .

中国专利 :CN120252540A ,2025-07-04

[6]

一种高精密宽光谱光学薄膜厚度在线监控系统 [P].

潘永刚 ;

林兆文 ;

王奔 ;

付秀华 ;

陈晓东 .

中国专利 :CN115597501A ,2023-01-13

[7]

双光束在线实时测量光学薄膜应力的装置及其测量方法 [P].

朱冠超 ;

方明 ;

申雁鸣 ;

易葵 .

中国专利 :CN101251472A ,2008-08-27

[8]

一种光学薄膜厚度的制备监控技术 [P].

钱佳琪 ;

陈小刚 .

中国专利 :CN112629420A ,2021-04-09

[9]

在线监测光学薄膜厚度的方法、装置及镀膜系统 [P].

范卫星 ;

潘文创 ;

沈灿彬 ;

范心怡 .

中国专利 :CN120272873A ,2025-07-08

[10]

光学薄膜 [P].

李东哲 ;

崔镇渊 ;

吴世珍 ;

李宇钟 ;

金敃虎 ;

金枓利 .

中国专利 :CN111045249B ,2020-04-21

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