一种高精密宽光谱光学薄膜厚度在线监控系统

被引：0

申请号：

CN202211210103.1

申请日：

2022-09-30

公开(公告)号：

CN115597501A

公开(公告)日：

2023-01-13

发明(设计)人：

潘永刚林兆文王奔付秀华陈晓东

申请人：

申请人地址：

528414 广东省中山市火炬开发区东镇东一路6号4号楼C栋二层C2-ZQ004卡

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718

代理人：

郑纯;黄贞君

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-13	公开	公开
2023-02-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20220930

共 50 条

[1]

一种光学薄膜厚度监控系统 [P].

范卫星 ;

潘文创 ;

沈灿彬 ;

范心怡 .

中国专利 :CN120252540A ,2025-07-04

[2]

光学薄膜相位差在线监控系统及镀膜厚度监控方法 [P].

潘永刚 ;

董所涛 ;

王奔 ;

林兆文 ;

付秀华 ;

林芝庆 .

中国专利 :CN118443578A ,2024-08-06

[3]

光学薄膜厚度在线实时监控仪 [P].

韩军 ;

弥谦 ;

权贵秦 .

中国专利 :CN2552943Y ,2003-05-28

[4]

宽光谱光学镀膜在线监控系统 [P].

张喆民 ;

贾秋平 ;

卢维强 .

中国专利 :CN2783265Y ,2006-05-24

[5]

一种光学薄膜沉积在线膜厚监控系统及方法 [P].

刘书琴 .

中国专利 :CN113862629A ,2021-12-31

[6]

光学薄膜厚度监测装置及光学薄膜镀膜系统 [P].

范卫星 ;

潘文创 ;

沈灿彬 ;

范心怡 .

中国专利 :CN120272872A ,2025-07-08

[7]

一种光学薄膜厚度的制备监控技术 [P].

钱佳琪 ;

陈小刚 .

中国专利 :CN112629420A ,2021-04-09

[8]

一种实时光学薄膜厚度监控设备 [P].

黄光周 ;

于继荣 ;

刘雄英 .

中国专利 :CN2833515Y ,2006-11-01

[9]

一种含色度监控功能的宽光谱光学镀膜在线监控系统 [P].

江绍基 ;

张豪杰 ;

潘洪昌 ;

钟金池 .

中国专利 :CN101251609A ,2008-08-27

[10]

一种光谱仪光学薄膜厚度检测系统及方法 [P].

张寒 ;

叶反修 ;

杨鹏程 ;

叶春晖 .

中国专利 :CN120008490A ,2025-05-16

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