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一种光谱仪光学薄膜厚度检测系统及方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510277456.0
申请日：
2025-03-10
公开(公告)号：
CN120008490A
公开(公告)日：
2025-05-16
发明(设计)人：
张寒 叶反修 杨鹏程 叶春晖
申请人：
无锡市金义博仪器科技有限公司
申请人地址：
214151 江苏省无锡市惠山区钱桥开发区景盛路35号
IPC主分类号：
G01B11/06
IPC分类号：
代理机构：
无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227
代理人：
顾朝瑞
法律状态：
授权
国省代码：
山西省 临汾市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-11-04 授权 授权
2025-06-03 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/06申请日:20250310
2025-05-16 公开 公开
共 50 条
[1]
一种光谱仪光学薄膜厚度检测系统及方法 [P]. 
张寒 ;
叶反修 ;
杨鹏程 ;
叶春晖 .
中国专利 :CN120008490B ,2025-11-04
[2]
一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置及方法 [P]. 
张冬仙 ;
史斌 ;
韩雪超 ;
章海军 .
中国专利 :CN102735176A ,2012-10-17
[3]
一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置 [P]. 
史斌 ;
韩雪超 ;
张冬仙 ;
章海军 .
中国专利 :CN202853573U ,2013-04-03
[4]
一种光学薄膜厚度检测装置 [P]. 
叶航 ;
林欲金 ;
周奕杰 .
中国专利 :CN223663967U ,2025-12-12
[5]
光学薄膜厚度监测装置及光学薄膜镀膜系统 [P]. 
范卫星 ;
潘文创 ;
沈灿彬 ;
范心怡 .
中国专利 :CN120272872A ,2025-07-08
[6]
光谱检测系统及光谱仪 [P]. 
贾琰 .
中国专利 :CN202143067U ,2012-02-08
[7]
光谱仪及光谱检测系统 [P]. 
牟涛涛 ;
骆磊 .
中国专利 :CN208140259U ,2018-11-23
[8]
光谱仪及光谱检测系统 [P]. 
牟涛涛 .
中国专利 :CN107884387A ,2018-04-06
[9]
光谱仪及光谱检测系统 [P]. 
牟涛涛 .
中国专利 :CN207423809U ,2018-05-29
[10]
光谱仪及光谱检测系统 [P]. 
芮训豹 .
中国专利 :CN207423365U ,2018-05-29
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