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一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210209959.7
申请日：
2012-06-25
公开(公告)号：
CN102735176A
公开(公告)日：
2012-10-17
发明(设计)人：
张冬仙
史斌
韩雪超
章海军
申请人：
申请人地址：
310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
IPC主分类号：
G01B1106
IPC分类号：
代理机构：
杭州求是专利事务所有限公司 33200
代理人：
张法高
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-05-20 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101715501406 IPC(主分类):G01B 11/06 专利申请号:2012102099597 申请公布日:20121017 |
| 2012-12-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101363518657 IPC(主分类):G01B 11/06 专利申请号:2012102099597 申请日:20120625 |
| 2012-10-17 | 公开 | 公开 |