一种实时光学薄膜厚度监控设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200420095384.1

申请日：

2004-11-19

公开(公告)号：

CN2833515Y

公开(公告)日：

2006-11-01

发明(设计)人：

黄光周于继荣刘雄英

申请人：

申请人地址：

510640广东省广州市天河区五山路381号

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

G01B2108

代理机构：

广州粤高专利代理有限公司

代理人：

何淑珍

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-03-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101059088532 IPC(主分类):G01B 11/06 专利号:ZL2004200953841 申请日:20041119 授权公告日:20061101 终止日期:20091221
2006-11-01	授权	授权

共 50 条

[1]

光学薄膜厚度在线实时监控仪 [P].

韩军 ;

弥谦 ;

权贵秦 .

中国专利 :CN2552943Y ,2003-05-28

[2]

一种光学薄膜厚度监控系统 [P].

范卫星 ;

潘文创 ;

沈灿彬 ;

范心怡 .

中国专利 :CN120252540A ,2025-07-04

[3]

一种光学薄膜加工厚度检测设备 [P].

周慧 ;

汪森 .

中国专利 :CN220288582U ,2024-01-02

[4]

一种光学薄膜厚度检测装置 [P].

叶航 ;

林欲金 ;

周奕杰 .

中国专利 :CN223663967U ,2025-12-12

[5]

一种光学薄膜厚度的制备监控技术 [P].

钱佳琪 ;

陈小刚 .

中国专利 :CN112629420A ,2021-04-09

[6]

一种光学薄膜用厚度检测装置 [P].

罗娟 .

中国专利 :CN212988313U ,2021-04-16

[7]

一种光学薄膜用厚度检测装置 [P].

王亚博 ;

刘国喜 ;

孙琪 ;

王相义 ;

芦淑华 .

中国专利 :CN218349447U ,2023-01-20

[8]

光学薄膜监控的光控光路系统 [P].

陈晓东 .

中国专利 :CN210220985U ,2020-03-31

[9]

光学薄膜厚度监测装置及光学薄膜镀膜系统 [P].

范卫星 ;

潘文创 ;

沈灿彬 ;

范心怡 .

中国专利 :CN120272872A ,2025-07-08

[10]

一种光学薄膜 [P].

谷至华 ;

汪敏 ;

施克炜 ;

陈晓东 .

中国专利 :CN204989516U ,2016-01-20

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