光学薄膜相位差在线监控系统及镀膜厚度监控方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410502230.1

申请日：

2024-04-25

公开(公告)号：

CN118443578A

公开(公告)日：

2024-08-06

发明(设计)人：

潘永刚董所涛王奔林兆文付秀华林芝庆

申请人：

长春理工大学中山研究院中山吉联光电科技有限公司

申请人地址：

528437 广东省中山市火炬开发区会展东路16号数码大厦15-17层

IPC主分类号：

G01N21/01

IPC分类号：

G01N21/84 G01B11/06

代理机构：

北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718

代理人：

黄贞君

法律状态：

公开

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-06	公开	公开
2024-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/01申请日:20240425

共 50 条

[1]

测量光学薄膜相位差的系统和方法 [P].

刘壮 ;

章波 ;

张庆训 ;

张冬冬 ;

李佳佳 ;

王建 .

中国专利 :CN117147105B ,2024-05-17

[2]

光学薄膜厚度在线实时监控仪 [P].

韩军 ;

弥谦 ;

权贵秦 .

中国专利 :CN2552943Y ,2003-05-28

[3]

相位差补偿光学薄膜的制备方法 [P].

沈勇 .

中国专利 :CN113478795A ,2021-10-08

[4]

相位差薄膜、相位差薄膜的制造方法、层叠相位差薄膜的制造方法、光学薄膜和图像显示装置 [P].

首藤俊介 .

中国专利 :CN1906508A ,2007-01-31

[5]

相位差膜、光学薄膜、显示装置 [P].

渥美匡广 ;

齐藤之人 ;

森岛慎一 .

中国专利 :CN110100194A ,2019-08-06

[6]

一种光学薄膜厚度监控系统 [P].

范卫星 ;

潘文创 ;

沈灿彬 ;

范心怡 .

中国专利 :CN120252540A ,2025-07-04

[7]

光学薄膜厚度监测装置及光学薄膜镀膜系统 [P].

范卫星 ;

潘文创 ;

沈灿彬 ;

范心怡 .

中国专利 :CN120272872A ,2025-07-08

[8]

一种高精密宽光谱光学薄膜厚度在线监控系统 [P].

潘永刚 ;

林兆文 ;

王奔 ;

付秀华 ;

陈晓东 .

中国专利 :CN115597501A ,2023-01-13

[9]

在线监测光学薄膜厚度的方法、装置及镀膜系统 [P].

范卫星 ;

潘文创 ;

沈灿彬 ;

范心怡 .

中国专利 :CN120272873A ,2025-07-08

[10]

相位差薄膜及其制造方法、光学薄膜以及它们的应用 [P].

河原聪 ;

林政毅 ;

矢野周治 ;

与田健治 ;

小林显太郎 .

中国专利 :CN1731227A ,2006-02-08

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