一种反应腔室喷淋系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120574883.9

申请日：

2011-12-31

公开(公告)号：

CN202440548U

公开(公告)日：

2012-09-19

发明(设计)人：

崔军彭侃

申请人：

申请人地址：

102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号院

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

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代理人：

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-16	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700112458 IPC(主分类):C23C 16/455 专利号:ZL2011205748839 变更事项:专利权人变更前:汉能科技有限公司变更后:汉能太阳能光伏科技有限公司变更事项:地址变更前:102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号院变更后:100107 北京市朝阳区安立路0-A号
2012-09-19	授权	授权
2018-12-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20111231 授权公告日:20120919 终止日期:20171231

共 50 条

[1]

一种反应腔室喷淋系统 [P].

崔军 ;

彭侃 .

中国专利 :CN102433551A ,2012-05-02

[2]

反应腔室 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN203007408U ,2013-06-19

[3]

喷淋头及反应腔室 [P].

谭华强 .

中国专利 :CN103540910A ,2014-01-29

[4]

喷淋头及反应腔室 [P].

谭华强 ;

乔徽 ;

林翔 ;

苏育家 .

中国专利 :CN103526185A ,2014-01-22

[5]

反应腔室 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN103074599A ,2013-05-01

[6]

喷淋装置、反应腔室及薄膜沉积设备 [P].

黄明策 ;

野沢俊久 .

中国专利 :CN222886757U ,2025-05-20

[7]

一种CVD反应腔室 [P].

陈勇彬 .

中国专利 :CN220926925U ,2024-05-10

[8]

反应腔室 [P].

黄允文 ;

李王俊 .

中国专利 :CN203007403U ,2013-06-19

[9]

反应腔室 [P].

肖德志 ;

琚里 .

中国专利 :CN207074638U ,2018-03-06

[10]

反应腔室 [P].

蒙小刚 ;

庞云玲 ;

盛天佑 ;

宋岭 .

中国专利 :CN119725170A ,2025-03-28

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