一种靶材及其制造方法

被引：0

申请号：

CN202211270818.6

申请日：

2022-10-18

公开(公告)号：

CN115341185A

公开(公告)日：

2022-11-15

发明(设计)人：

韩刚戚延龄郭若冰程兴德韩启航俞正

申请人：

申请人地址：

215506 江苏省苏州市常熟市高新技术产业开发区贤士路88号7号楼

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李娟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20221018
2022-11-15	公开	公开

共 50 条

[1]

靶材及其制作方法 [P].

韩刚 ;

戚延龄 ;

郭若冰 ;

程兴德 ;

韩启航 .

中国专利 :CN115404448A ,2022-11-29

[2]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN107663631A ,2018-02-06

[3]

铬靶材的制造方法 [P].

姚力军 ;

赵凯 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN104439246A ,2015-03-25

[4]

钼硅靶材及其组合的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

张涛 .

中国专利 :CN105483624A ,2016-04-13

[5]

钼硅靶材的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

张涛 .

中国专利 :CN105642899B ,2016-06-08

[6]

钨硅靶材的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

张涛 .

中国专利 :CN105671483A ,2016-06-15

[7]

一种CrAlCuFe合金靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

张欠男 ;

魏铁峰 ;

施政 ;

岳万祥 ;

孟晓亭 ;

张学华 .

中国专利 :CN116804265B ,2024-01-30

[8]

一种钨镍合金靶材及其制备方法 [P].

刘桂荣 ;

王广达 ;

弓艳飞 ;

杨林 ;

熊宁 .

中国专利 :CN110885963A ,2020-03-17

[9]

铌旋转靶材及其制备方法 [P].

杨永杰 ;

秦颖楠 ;

朱永超 ;

陆海涛 ;

尹志锋 .

中国专利 :CN121178853A ,2025-12-23

[10]

靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

马国成 .

中国专利 :CN111636056A ,2020-09-08

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