一种新型阵列显影液浓度稀释及控制系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122493850.8

申请日：

2021-10-15

公开(公告)号：

CN215996507U

公开(公告)日：

2022-03-11

发明(设计)人：

张久华徐育明许弯闫奎王伟川

申请人：

申请人地址：

215151 江苏省苏州市高新区浒墅关开发区石林路189号

IPC主分类号：

B01F35213

IPC分类号：

B01F3571

代理机构：

上海科政专利代理事务所(普通合伙) 31463

代理人：

杨军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-11	授权	授权

共 50 条

[1]

显影液浓度的控制系统 [P].

翟宏峰 .

中国专利 :CN201749294U ,2011-02-16

[2]

一种显影液浓度的控制系统 [P].

刘小勇 ;

房龙翔 ;

叶鑫煌 .

中国专利 :CN215586073U ,2022-01-21

[3]

显影液稀释系统 [P].

刘良 .

中国专利 :CN107300838A ,2017-10-27

[4]

一种新型TMAH显影液再生及浓度管理系统 [P].

张久华 ;

陈辉军 ;

闫奎 ;

王伟川 ;

徐育明 ;

陈孝强 ;

许弯 ;

张岚君 ;

许成强 .

中国专利 :CN217932417U ,2022-11-29

[5]

显影液控制系统 [P].

黄福林 ;

郑铁元 ;

权训 .

中国专利 :CN101634816B ,2010-01-27

[6]

一种显影液稀释系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222567386U ,2025-03-07

[7]

显影机的显影液碱液浓度控制系统及方法 [P].

韦智强 ;

邓强 .

中国专利 :CN109343315A ,2019-02-15

[8]

显影液浓度控制方法以及显影液浓度控制设备 [P].

董延卫 .

中国专利 :CN120406588A ,2025-08-01

[9]

一种多路显影液控制系统 [P].

张鹏 ;

谢华 ;

孙珉 ;

徐哲峰 .

中国专利 :CN1779574A ,2006-05-31

[10]

一种显影液浓度高效率自动稀释的装置 [P].

宫小龙 ;

周春 ;

刘苏伟 ;

韩逸轩 ;

张宇恒 .

中国专利 :CN223654951U ,2025-12-12

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