一种新型TMAH显影液再生及浓度管理系统

被引：0

申请号：

CN202222116728.3

申请日：

2022-08-12

公开(公告)号：

CN217932417U

公开(公告)日：

2022-11-29

发明(设计)人：

张久华陈辉军闫奎王伟川徐育明陈孝强许弯张岚君许成强

申请人：

申请人地址：

200131 上海市浦东新区自由贸易试验区富特西一路333号长城大楼第一层A1-2部位

IPC主分类号：

G03F730

IPC分类号：

代理机构：

上海科政专利代理事务所(普通合伙) 31463

代理人：

杨军

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种新型阵列显影液浓度稀释及控制系统 [P].

张久华 ;

徐育明 ;

许弯 ;

闫奎 ;

王伟川 .

中国专利 :CN215996507U ,2022-03-11

[2]

显影液的浓度监视装置及显影液管理装置 [P].

中川俊元 .

中国专利 :CN108345182A ,2018-07-31

[3]

显影液的浓度监视装置及显影液管理装置 [P].

中川俊元 .

中国专利 :CN108345185A ,2018-07-31

[4]

一种显影液再生系统 [P].

梁高杰 ;

王铭杰 ;

周健 ;

李阳坡 .

中国专利 :CN214846235U ,2021-11-23

[5]

一种新型显影液加液系统 [P].

王祥 ;

丁建峰 ;

于玉斋 ;

魏明德 .

中国专利 :CN208752393U ,2019-04-16

[6]

显影液的成分浓度测定装置及显影液管理装置 [P].

中川俊元 .

中国专利 :CN108344778A ,2018-07-31

[7]

一种PCB显影液再生回收系统 [P].

肖应东 ;

肖勇辉 ;

赖辉 ;

徐蓉珊 .

中国专利 :CN210199509U ,2020-03-27

[8]

一种TMAH显影液碳酸检测方法、装置及系统 [P].

尹丰丰 ;

冯亚楠 ;

张炳庆 ;

邵天成 ;

张瑞起 ;

苑征瑞 ;

吴双双 ;

许光 ;

孙巧云 ;

王玉彬 .

中国专利 :CN120594741A ,2025-09-05

[9]

一种废显影液的再生系统 [P].

连杰 .

中国专利 :CN217127010U ,2022-08-05

[10]

显影液浓度的控制系统 [P].

翟宏峰 .

中国专利 :CN201749294U ,2011-02-16

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