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一种TMAH显影液碳酸检测方法、装置及系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511093501.3
申请日：
2025-08-06
公开(公告)号：
CN120594741A
公开(公告)日：
2025-09-05
发明(设计)人：
尹丰丰 冯亚楠 张炳庆 邵天成 张瑞起 苑征瑞 吴双双 许光 孙巧云 王玉彬
申请人：
信联电子材料科技股份有限公司
申请人地址：
061000 河北省沧州市临港经济技术开发区张仲景路5号
IPC主分类号：
G01N31/16
IPC分类号：
代理机构：
辽宁省顺通中连知识产权代理有限公司 21287
代理人：
刘英
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-09-05 公开 公开
2025-09-23 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 31/16申请日:20250806
2025-10-10 授权 授权
共 50 条
[1]
一种TMAH显影液碳酸检测方法、装置及系统 [P]. 
尹丰丰 ;
冯亚楠 ;
张炳庆 ;
邵天成 ;
张瑞起 ;
苑征瑞 ;
吴双双 ;
许光 ;
孙巧云 ;
王玉彬 .
中国专利 :CN120594741B ,2025-10-10
[2]
一种TMAH显影液碳酸检测装置及其检测方法 [P]. 
刘颂军 ;
孙炜 ;
刘新雨 ;
吴双双 .
中国专利 :CN111735737A ,2020-10-02
[3]
显影液供应系统及显影液填充方法 [P]. 
王忠诚 .
中国专利 :CN108732873B ,2018-11-02
[4]
一种新型TMAH显影液再生及浓度管理系统 [P]. 
张久华 ;
陈辉军 ;
闫奎 ;
王伟川 ;
徐育明 ;
陈孝强 ;
许弯 ;
张岚君 ;
许成强 .
中国专利 :CN217932417U ,2022-11-29
[5]
显影液制造装置及显影液制造方法 [P]. 
中川俊元 ;
菊川诚 ;
小川修 ;
森田悟 ;
宝山隆博 .
中国专利 :CN1237398C ,2002-10-09
[6]
显影液过滤系统及显影液的过滤方法 [P]. 
林子扬 ;
刘朕与 ;
张庆裕 ;
林进祥 .
中国专利 :CN109806658B ,2019-05-28
[7]
一种显影液视觉检验装置及检测方法 [P]. 
盛夕军 ;
陈龙宝 .
中国专利 :CN119959140A ,2025-05-09
[8]
一种用于生产TMAH显影液的储存装置 [P]. 
刘颂军 ;
孙炜 ;
贾成林 ;
刘新雨 .
中国专利 :CN213474049U ,2021-06-18
[9]
一种显影液视觉检验装置及检测方法 [P]. 
盛夕军 ;
陈龙宝 .
中国专利 :CN119959140B ,2025-09-02
[10]
精制显影液制造装置及精制显影液制造方法 [P]. 
中川俊元 ;
小川修 ;
森田悟 ;
菊川诚 ;
宝山隆博 .
中国专利 :CN1379285A ,2002-11-13
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