制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器

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专利类型
发明
申请号
CN200680021814.7
申请日
2006-06-13
公开(公告)号
CN101198874A
公开(公告)日
2008-06-11
发明(设计)人
H·凯斯马
申请人
申请人地址
芬兰万塔
IPC主分类号
G01P15125
IPC分类号
G01P1518
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司
代理人
曾祥夌;刘华联
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器 [P]. 
H.凯斯马 .
中国专利 :CN103823082A ,2014-05-28
[2]
电容式加速度传感器 [P]. 
崔贺伟 ;
陈强中 .
中国专利 :CN203133111U ,2013-08-14
[3]
电容式加速度传感器 [P]. 
颜毅林 ;
杨斌 .
中国专利 :CN201749127U ,2011-02-16
[4]
电容式加速度传感器 [P]. 
李诺伦 ;
庄瑞芬 ;
张沛 ;
陈嘉辉 .
中国专利 :CN114720721B ,2024-04-26
[5]
电容式加速度传感器 [P]. 
李诺伦 ;
庄瑞芬 ;
张沛 ;
陈嘉辉 .
中国专利 :CN114720721A ,2022-07-08
[6]
水银电容式加速度传感器 [P]. 
马铁华 ;
刘双峰 ;
祖静 ;
武耀艳 ;
范锦彪 ;
侯文 .
中国专利 :CN1831539A ,2006-09-13
[7]
电容式MEMS加速度传感器 [P]. 
陈学峰 ;
钟利强 ;
杨小平 .
中国专利 :CN103412146A ,2013-11-27
[8]
一种电容式加速度传感器 [P]. 
陈超 ;
王涛 ;
马淑敏 ;
周泓希 ;
蒋亚东 .
中国专利 :CN202512136U ,2012-10-31
[9]
电容式加速度传感器及其制备方法 [P]. 
陈勇彬 ;
张茜 .
中国专利 :CN119667199A ,2025-03-21
[10]
电容式加速度传感器及其制备方法 [P]. 
陈勇彬 ;
张茜 .
中国专利 :CN119667199B ,2025-11-28