电容式加速度传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411772208.5

申请日：

2024-12-04

公开(公告)号：

CN119667199B

公开(公告)日：

2025-11-28

发明(设计)人：

陈勇彬张茜

申请人：

广州增芯科技有限公司

申请人地址：

511365 广东省广州市增城区宁西街创优路333号

IPC主分类号：

G01P15/125

IPC分类号：

B81C1/00 B81B3/00 B81B7/02

代理机构：

上海慧晗知识产权代理事务所(普通合伙) 31343

代理人：

李晴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01P 15/125申请日:20241204
2025-11-28	授权	授权
2025-03-21	公开	公开

共 50 条

[1]

电容式加速度传感器及其制备方法 [P].

陈勇彬 ;

张茜 .

中国专利 :CN119667199A ,2025-03-21

[2]

电容式加速度传感器 [P].

颜毅林 ;

杨斌 .

中国专利 :CN201749127U ,2011-02-16

[3]

电容式加速度传感器 [P].

崔贺伟 ;

陈强中 .

中国专利 :CN203133111U ,2013-08-14

[4]

电容式加速度传感器 [P].

李诺伦 ;

庄瑞芬 ;

张沛 ;

陈嘉辉 .

中国专利 :CN114720721B ,2024-04-26

[5]

电容式加速度传感器 [P].

李诺伦 ;

庄瑞芬 ;

张沛 ;

陈嘉辉 .

中国专利 :CN114720721A ,2022-07-08

[6]

制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器 [P].

H·凯斯马 .

中国专利 :CN101198874A ,2008-06-11

[7]

制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器 [P].

H.凯斯马 .

中国专利 :CN103823082A ,2014-05-28

[8]

MEMS电容式加速度传感器及其制备方法 [P].

黄晟 ;

贾蔓谷 ;

蔡光艳 ;

魏晓莉 ;

蔡喜元 ;

丁铮 ;

吴国璋 ;

罗戴钟 .

中国专利 :CN118243961A ,2024-06-25

[9]

水银电容式加速度传感器 [P].

马铁华 ;

刘双峰 ;

祖静 ;

武耀艳 ;

范锦彪 ;

侯文 .

中国专利 :CN1831539A ,2006-09-13

[10]

电容式MEMS加速度传感器 [P].

陈学峰 ;

钟利强 ;

杨小平 .

中国专利 :CN103412146A ,2013-11-27

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