铜互连工艺方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711138181.4

申请日：

2017-11-16

公开(公告)号：

CN108054136A

公开(公告)日：

2018-05-18

发明(设计)人：

林爱梅

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

郭四华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-18	公开	公开
2018-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20171116

共 50 条

[1]

铜互连工艺 [P].

赵龙 ;

冷江华 .

中国专利 :CN104217993A ,2014-12-17

[2]

一种形成空气隙/铜互连的工艺方法 [P].

左青云 ;

林宏 ;

李铭 .

中国专利 :CN106847740B ,2017-06-13

[3]

改善铜互连工艺中铜丘的方法 [P].

詹曜宇 ;

彭翔 ;

姬峰 .

中国专利 :CN112201616A ,2021-01-08

[4]

改善顶层铜互连层的丘状凸起缺陷的工艺方法 [P].

魏想 ;

贡祎琪 .

中国专利 :CN110504211A ,2019-11-26

[5]

铜互连工艺的制造过程 [P].

曾翔旸 ;

叶荣鸿 ;

刘立尧 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110504210A ,2019-11-26

[6]

一种铜互连工艺 [P].

陈玉文 ;

张文广 ;

郑春生 ;

徐强 .

中国专利 :CN102867780A ,2013-01-09

[7]

用于铜互连布线制造工艺的方法 [P].

安辉 .

中国专利 :CN102024746A ,2011-04-20

[8]

铜互连大马士革工艺方法 [P].

王福喜 ;

曾林华 ;

任昱 ;

吕煜坤 .

中国专利 :CN103972164A ,2014-08-06

[9]

铜互连结构及铜互连结构的制作方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104037160B ,2014-09-10

[10]

一种铜互连层及铜互连层大马士革工艺方法 [P].

孟昭生 ;

吴荘荘 ;

季明华 .

中国专利 :CN114725007A ,2022-07-08

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