用于铜互连布线制造工艺的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910195494.2

申请日：

2009-09-09

公开(公告)号：

CN102024746A

公开(公告)日：

2011-04-20

发明(设计)人：

安辉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L2704

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

董巍;顾珊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101077294187 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009101954942 申请日:20090909
2011-04-20	公开	公开
2013-02-06	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101510796390 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009101954942 变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20130106
2015-09-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2009101954942 申请公布日:20110420 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721539097

共 50 条

[1]

铜互连工艺的制造过程 [P].

曾翔旸 ;

叶荣鸿 ;

刘立尧 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110504210A ,2019-11-26

[2]

铜互连布线和形成铜互连布线的方法 [P].

罗伯特·M·杰弗肯 ;

约翰·J·豪特拉 ;

史蒂文·R·谢尔曼 ;

亚瑟·J·勒恩 .

中国专利 :CN101107699A ,2008-01-16

[3]

铜互连工艺方法 [P].

林爱梅 .

中国专利 :CN108054136A ,2018-05-18

[4]

铜互连工艺 [P].

赵龙 ;

冷江华 .

中国专利 :CN104217993A ,2014-12-17

[5]

铜互连MIM电容器的制造工艺和铜互连MIM电容器结构 [P].

刘俊文 .

中国专利 :CN111128956A ,2020-05-08

[6]

改善铜互连工艺中铜丘的方法 [P].

詹曜宇 ;

彭翔 ;

姬峰 .

中国专利 :CN112201616A ,2021-01-08

[7]

多层铜互连布线结构的检测方法 [P].

林晓玲 ;

章晓文 ;

梁朝辉 .

中国专利 :CN105699875B ,2016-06-22

[8]

铜互连线的制造方法 [P].

许家彰 ;

蔡旻錞 ;

陈建勋 .

中国专利 :CN112382608A ,2021-02-19

[9]

铜互连层的制造方法 [P].

张海洋 ;

周俊卿 ;

王冬江 .

中国专利 :CN103187361A ,2013-07-03

[10]

一种形成空气隙/铜互连的工艺方法 [P].

左青云 ;

林宏 ;

李铭 .

中国专利 :CN106847740B ,2017-06-13

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