铜互连布线和形成铜互连布线的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580046189.7

申请日：

2005-11-08

公开(公告)号：

CN101107699A

公开(公告)日：

2008-01-16

发明(设计)人：

罗伯特·M·杰弗肯约翰·J·豪特拉史蒂文·R·谢尔曼亚瑟·J·勒恩

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01L2144

IPC分类号：

H01L2348 H01L2340 H01L2352

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

李剑

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101693208997 IPC(主分类):H01L 21/44 专利号:ZL2005800461897 申请日:20051108 授权公告日:20090325 终止日期:20151108
2009-03-25	授权	授权
2008-01-16	公开	公开
2008-03-05	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

铜互连布线及其形成方法和装置 [P].

A·J·勒恩 ;

S·R·舍曼 ;

R·M·格夫肯 ;

J·J·豪塔拉 .

中国专利 :CN101416291A ,2009-04-22

[2]

多层铜互连布线结构的检测方法 [P].

林晓玲 ;

章晓文 ;

梁朝辉 .

中国专利 :CN105699875B ,2016-06-22

[3]

用于铜互连布线制造工艺的方法 [P].

安辉 .

中国专利 :CN102024746A ,2011-04-20

[4]

一种铜互连布线层上覆盖结构的方法 [P].

曹路 ;

刘翊 ;

张同庆 .

中国专利 :CN112151442A ,2020-12-29

[5]

形成铜互连线的方法 [P].

肯尼思·C·卡迪恩 ;

安妮·E·米勒 ;

艾伦·D·费勒 .

中国专利 :CN1256765C ,2004-05-05

[6]

铜互连方法 [P].

刘盛 .

中国专利 :CN101989569B ,2011-03-23

[7]

冈林秀和 ;

藤井明子 ;

上野和良 ;

斋藤修一 .

中国专利 :CN1357157A ,2002-07-03

[8]

铜互连方法 [P].

刘盛 ;

康芸 ;

苏娜 .

中国专利 :CN101944501A ,2011-01-12

[9]

铜互连方法 [P].

尹晓明 ;

孙武 ;

张海洋 ;

王新鹏 .

中国专利 :CN102005410A ,2011-04-06

[10]

铜互连线的形成方法 [P].

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN104103575A ,2014-10-15

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