一种基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010684834.4

申请日：

2020-07-16

公开(公告)号：

CN111736423A

公开(公告)日：

2020-10-02

发明(设计)人：

杨尚韦亚一张利斌

申请人：

申请人地址：

211899 江苏省南京市浦口区江浦街道浦滨路320号科创一号大厦B座21楼

IPC主分类号：

G03F136

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

南京苏博知识产权代理事务所(普通合伙) 32411

代理人：

陈婧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-02	公开	公开
2020-10-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20200716

共 50 条

[1]

一种环形图案的光学邻近效应校正方法 [P].

杨尚 ;

韦亚一 ;

张利斌 .

中国专利 :CN112859536A ,2021-05-28

[2]

一种基于Cell的层次化光学邻近效应校正方法 [P].

罗海燕 ;

陈岚 ;

尹明会 ;

赵劼 .

中国专利 :CN102147567B ,2011-08-10

[3]

一种层次化的光学邻近效应校正方法 [P].

严晓浪 ;

史峥 ;

张宇孚 .

中国专利 :CN101013271A ,2007-08-08

[4]

光学邻近效应校正方法、系统、终端及介质 [P].

张馨元 ;

徐世斌 ;

姚淼红 ;

颜哲钜 ;

李翰轩 ;

任堃 .

中国专利 :CN120891694A ,2025-11-04

[5]

光学邻近校正模型的校正方法 [P].

王辉 ;

时雪龙 .

中国专利 :CN103631085A ,2014-03-12

[6]

一种基于生成对抗网络的激光直写邻近效应修正方法 [P].

纪佳馨 ;

梁辰 ;

李雨轩 ;

朱凤鸣 ;

路玉凯 .

中国专利 :CN120848116A ,2025-10-28

[7]

一种基于U-Net神经网络的光学邻近效应校正方法 [P].

李皖龙 ;

王子民 ;

俞承励 ;

施俊翔 ;

周强强 ;

田诗瑶 ;

周再发 .

中国专利 :CN120370633A ,2025-07-25

[8]

一种基于像素的光学邻近效应校正的优化方法 [P].

马旭 ;

李艳秋 .

中国专利 :CN102122111A ,2011-07-13

[9]

基于Abbe矢量成像模型的光学邻近效应校正的优化方法 [P].

马旭 ;

李艳秋 ;

董立松 .

中国专利 :CN102323723B ,2012-01-18

[10]

光学邻近效应校正方法、掩膜版及可读存储介质 [P].

朱斌 ;

王谨恒 ;

陈洁 ;

张剑 ;

曹楠 ;

孙鹏飞 .

中国专利 :CN114578650A ,2022-06-03

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