具有气体冲洗装置的光刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510081753.0

申请日：

2005-05-24

公开(公告)号：

CN1725110A

公开(公告)日：

2006-01-25

发明(设计)人：

M·贝克斯 R·J·胡特曼斯 N·坦卡特 N·R·科珀 N·F·科佩拉亚斯 J·－M·肖特斯曼 R·范德哈姆 J·A·M·M·范尤特雷格特

申请人：

申请人地址：

荷兰维尔德霍芬

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

原绍辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-01-25	公开	公开
2009-09-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种具有气浴装置的光刻设备 [P].

张琦 ;

李志 ;

胡嘉鑫 ;

史月林 ;

庄亚政 ;

李波 ;

李凌瞳 ;

张雷 .

中国专利 :CN223566029U ,2025-11-18

[2]

具有气味抽取的冲洗装置 [P].

罗尔夫·科莎瑞恩 .

中国专利 :CN103882928B ,2014-06-25

[3]

光刻设备、图案形成装置和光刻方法 [P].

P·W·H·德贾格 ;

R·A·J·范德韦尔 .

中国专利 :CN105659165A ,2016-06-08

[4]

气体冲洗元件及附属的气体冲洗装置 [P].

埃瓦尔德·舒马赫 ;

V·克奇罗波宁 ;

埃德加·舒马赫 ;

H·布伦纳 ;

O·米特勒纳 ;

V·图罗夫斯基 .

中国专利 :CN1784500A ,2006-06-07

[5]

气体冲洗装置以及气体冲洗方法 [P].

魏孟良 ;

周孙甫 .

中国专利 :CN114378047A ,2022-04-22

[6]

用于光刻设备的冲洗系统和方法 [P].

E·A·T·范登阿科 ;

J·F·丹嫩贝格 ;

M·W·林索斯特 ;

I·M·卡尔曼 ;

S·A·哈扎里 .

:CN120457386A ,2025-08-08

[7]

具有倾斜的缝隙状通道的气体冲洗装置 [P].

J·库尔曼 ;

W·舍恩韦尔斯基 ;

K·G·鲁维尔 ;

W·里特尔 .

中国专利 :CN100360260C ,2006-07-26

[8]

光刻设备及装置制造方法 [P].

A·E·A·库伦 ;

E·W·M·克诺斯 ;

M·莫 .

中国专利 :CN1542552A ,2004-11-03

[9]

致动光刻设备的致动单元的控制装置、具有控制装置的光刻设备及操作控制装置的方法 [P].

S.克朗 ;

L.伯杰 ;

R.基塞尔 ;

P.威杰拉尔斯 .

中国专利 :CN110291463A ,2019-09-27

[10]

具有主动阻尼组件的光刻设备 [P].

H·巴特勒 ;

E·R·鲁普斯卓 ;

M·W·M·范德维基斯特 ;

J·德皮 ;

C·A·L·德霍恩 ;

S·布斯克尔 .

中国专利 :CN101446771B ,2009-06-03

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