一种多晶硅硅棒的生产方法

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专利类型
发明
申请号
CN200910183451.2
申请日
2009-09-22
公开(公告)号
CN101654249B
公开(公告)日
2010-02-24
发明(设计)人
田新 梁强 陈明元
申请人
申请人地址
221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路66号
IPC主分类号
C01B33035
IPC分类号
代理机构
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204
代理人
肖明芳
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅硅棒裂纹检测方法 [P]. 
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张玉泉 ;
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[10]
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