多晶硅硅棒裂纹检测方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910735885.2
申请日
2019-08-09
公开(公告)号
CN110596194A
公开(公告)日
2019-12-20
发明(设计)人
张杭 高建虎 张燕 丁洁
申请人
申请人地址
211100 江苏省南京市江宁区天元东路52号
IPC主分类号
G01N2700
IPC分类号
C01B33035
代理机构
江苏圣典律师事务所 32237
代理人
韩天宇
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
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[10]
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