一种双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201510066782.3
申请日
2015-02-09
公开(公告)号
CN104611682B
公开(公告)日
2015-05-13
发明(设计)人
朱锡芳 杨辉 许清泉 陈功 徐安成
申请人
申请人地址
213022 江苏省常州市新北区巫山路1号
IPC主分类号
C23C1456
IPC分类号
C23C1435
代理机构
南京知识律师事务所 32207
代理人
高桂珍
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
朱锡芳 ;
许清泉 ;
杨辉 ;
陈功 ;
徐安成 .
中国专利 :CN104674182B ,2015-06-03
[2]
一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
朱锡芳 ;
杨辉 ;
陈功 ;
许清泉 ;
徐安成 .
中国专利 :CN104674176B ,2015-06-03
[3]
一种快速换靶双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
朱锡芳 ;
杨辉 ;
徐安成 ;
陈功 ;
许清泉 .
中国专利 :CN104674180A ,2015-06-03
[4]
一种高效率单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
朱锡芳 ;
许清泉 ;
杨辉 ;
徐安成 ;
陈功 .
中国专利 :CN104674175B ,2015-06-03
[5]
一种快速换靶双面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
朱锡芳 ;
杨辉 ;
许清泉 ;
徐安成 ;
陈功 .
中国专利 :CN104611680B ,2015-05-13
[6]
一种快速换靶单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
朱锡芳 ;
徐安成 ;
杨辉 ;
许清泉 ;
陈功 .
中国专利 :CN104674181A ,2015-06-03
[7]
磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
甘国工 .
中国专利 :CN200996042Y ,2007-12-26
[8]
磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
甘国工 .
中国专利 :CN100532633C ,2008-06-04
[9]
一种快速换靶单面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
朱锡芳 ;
陈功 ;
徐安成 ;
许清泉 ;
杨辉 .
中国专利 :CN104611681A ,2015-05-13
[10]
柔性基材双面磁控溅射卷绕镀膜机 [P]. 
谈琦 .
中国专利 :CN104593743B ,2015-05-06