一种快速换靶单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510068221.7

申请日：

2015-02-09

公开(公告)号：

CN104674181A

公开(公告)日：

2015-06-03

发明(设计)人：

朱锡芳徐安成杨辉许清泉陈功

申请人：

申请人地址：

213022 江苏省常州市新北区巫山路1号

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

南京知识律师事务所 32207

代理人：

高桂珍

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-21	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/56 登记生效日:20220111 变更事项:专利权人变更前权利人:常州工学院变更后权利人:常州常工院技术转移有限公司变更事项:地址变更前权利人:213022 江苏省常州市新北区巫山路1号变更后权利人:213031 江苏省常州市新北区辽河路666号
2015-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101615754197 IPC(主分类):C23C 14/56 专利申请号:2015100682217 申请日:20150209
2015-06-03	公开	公开
2017-01-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种快速换靶单面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

朱锡芳 ;

陈功 ;

徐安成 ;

许清泉 ;

杨辉 .

中国专利 :CN104611681A ,2015-05-13

[2]

一种快速换靶双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

朱锡芳 ;

杨辉 ;

徐安成 ;

陈功 ;

许清泉 .

中国专利 :CN104674180A ,2015-06-03

[3]

一种单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

朱锡芳 ;

许清泉 ;

杨辉 ;

陈功 ;

徐安成 .

中国专利 :CN104674182B ,2015-06-03

[4]

一种快速换靶双面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

朱锡芳 ;

杨辉 ;

许清泉 ;

徐安成 ;

陈功 .

中国专利 :CN104611680B ,2015-05-13

[5]

一种双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

朱锡芳 ;

杨辉 ;

许清泉 ;

陈功 ;

徐安成 .

中国专利 :CN104611682B ,2015-05-13

[6]

一种高效率单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

朱锡芳 ;

许清泉 ;

杨辉 ;

徐安成 ;

陈功 .

中国专利 :CN104674175B ,2015-06-03

[7]

一种高效率双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

朱锡芳 ;

杨辉 ;

陈功 ;

许清泉 ;

徐安成 .

中国专利 :CN104674176B ,2015-06-03

[8]

磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

甘国工 .

中国专利 :CN200996042Y ,2007-12-26

[9]

磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

甘国工 .

中国专利 :CN100532633C ,2008-06-04

[10]

磁控溅射卷绕镀膜机 [P].

王军生 .

中国专利 :CN207891420U ,2018-09-21

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