一种多晶硅清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920539262.3

申请日：

2019-04-19

公开(公告)号：

CN210386715U

公开(公告)日：

2020-04-24

发明(设计)人：

阮继政付绪光田野郭磊李力刘逸枫

申请人：

申请人地址：

221004 江苏省徐州市经济技术开发区协鑫大道66号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B306 B08B1300 H01L2167 H01L21673

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多晶硅清洗装置和方法 [P].

阮继政 ;

付绪光 ;

田野 ;

郭磊 ;

李力 ;

刘逸枫 .

中国专利 :CN111822415A ,2020-10-27

[2]

多晶硅清洗装置 [P].

石何武 ;

张升学 ;

章莉 ;

郑红梅 ;

杨永亮 .

中国专利 :CN215902330U ,2022-02-25

[3]

一种多晶硅清洗装置 [P].

徐建均 ;

宋帅迪 ;

王强 .

中国专利 :CN209697589U ,2019-11-29

[4]

原生多晶硅清洗装置 [P].

杜福勇 ;

狄红祥 .

中国专利 :CN204934122U ,2016-01-06

[5]

一种多晶硅粉清洗装置 [P].

徐建均 ;

王强 .

中国专利 :CN215844547U ,2022-02-18

[6]

一种多晶硅棒清洗装置 [P].

尚锐刚 ;

王永涛 ;

刘建涛 ;

李明飞 ;

高源 ;

聂飞 .

中国专利 :CN216679271U ,2022-06-07

[7]

一种多晶硅原料清洗装置 [P].

张昱博 ;

赵亮 ;

李海林 .

中国专利 :CN215696318U ,2022-02-01

[8]

一种多晶硅料清洗装置 [P].

曾磊 ;

张玉玉 ;

纪杨 ;

张乃文 .

中国专利 :CN210125599U ,2020-03-06

[9]

一种多晶硅原料清洗装置 [P].

王海 .

中国专利 :CN207872669U ,2018-09-18

[10]

多晶硅清洗装置 [P].

石何武 ;

张升学 ;

章莉 ;

郑红梅 ;

杨永亮 .

中国专利 :CN113319058A ,2021-08-31

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