一种多晶硅清洗装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910319304.7

申请日：

2019-04-19

公开(公告)号：

CN111822415A

公开(公告)日：

2020-10-27

发明(设计)人：

阮继政付绪光田野郭磊李力刘逸枫

申请人：

申请人地址：

221004 江苏省徐州市经济技术开发区协鑫大道66号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B306 B08B1300 H01L2167 H01L21673

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-27	公开	公开
2022-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20190419

共 50 条

[1]

一种多晶硅清洗装置 [P].

阮继政 ;

付绪光 ;

田野 ;

郭磊 ;

李力 ;

刘逸枫 .

中国专利 :CN210386715U ,2020-04-24

[2]

多晶硅清洗装置和清洗方法 [P].

堺一弘 ;

渥美彻弥 ;

宫田幸和 .

中国专利 :CN101748492A ,2010-06-23

[3]

多晶硅的清洗方法和清洗装置，以及多晶硅的制造方法 [P].

堺一弘 ;

渥美彻弥 ;

宫田幸和 .

中国专利 :CN102264957A ,2011-11-30

[4]

多晶硅清洗装置 [P].

石何武 ;

张升学 ;

章莉 ;

郑红梅 ;

杨永亮 .

中国专利 :CN215902330U ,2022-02-25

[5]

一种多晶硅原料清洗装置 [P].

张昱博 ;

赵亮 ;

李海林 .

中国专利 :CN215696318U ,2022-02-01

[6]

多晶硅清洗装置 [P].

石何武 ;

张升学 ;

章莉 ;

郑红梅 ;

杨永亮 .

中国专利 :CN113319058A ,2021-08-31

[7]

一种多晶硅清洗机和清洗多晶硅的方法 [P].

王泉龙 ;

李琪 ;

孙珠珠 ;

周国栋 .

中国专利 :CN114713535A ,2022-07-08

[8]

多晶硅清洗机和清洗多晶硅的方法 [P].

陈辉 ;

曲宏波 ;

刘应全 ;

张潼 ;

蔡爱梅 ;

张征 ;

张邦洁 .

中国专利 :CN111151504A ,2020-05-15

[9]

一种多晶硅清洗装置 [P].

徐建均 ;

宋帅迪 ;

王强 .

中国专利 :CN209697589U ,2019-11-29

[10]

多晶硅芯片回收组件和从多晶硅清洗装置中回收多晶硅芯片的方法 [P].

詹森·L·贾尔迪纳 ;

詹姆斯·C·蒙代尔 ;

纳撒尼尔·C·麦肯锡-赫梅莱夫斯基 .

中国专利 :CN107078077A ,2017-08-18

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