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基板的纳米压印制备方法及其基板
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910479163.5
申请日：
2019-06-04
公开(公告)号：
CN110174818A
公开(公告)日：
2019-08-27
发明(设计)人：
刘凡成
申请人：
申请人地址：
430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
IPC主分类号：
G03F700
IPC分类号：
代理机构：
深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300
代理人：
黄威
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-27 | 公开 | 公开 |
| 2019-09-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20190604 |
| 2022-09-30 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/00 申请公布日:20190827 |