玻璃基板纳米压印工艺及设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511455349.9

申请日：

2025-10-13

公开(公告)号：

CN120972451A

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

王子荣罗凯何郴华王农华

申请人：

广东中图半导体科技股份有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业北二路4号

IPC主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

梁颖智

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省保定市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20251013
2025-11-18	公开	公开

共 50 条

[1]

纳米压印设备 [P].

张欣 .

中国专利 :CN106483759A ,2017-03-08

[2]

纳米压印方法及纳米压印辊 [P].

胡庆文 ;

朱海萍 ;

杨雨帆 ;

方道畅 ;

史瑞 ;

李晓军 .

中国专利 :CN118672056A ,2024-09-20

[3]

纳米压印工艺监测方法、监测装置及纳米压印设备 [P].

臧法珩 ;

赵东峰 ;

李琨 ;

董立超 ;

杜凯凯 ;

艾立夫 ;

王喆 ;

饶轶 .

中国专利 :CN111929986A ,2020-11-13

[4]

纳米压印模板、制备方法及采用其的纳米压印设备 [P].

田遵义 ;

陈宗镁 ;

杨海波 ;

谈浩森 .

中国专利 :CN121187069A ,2025-12-23

[5]

一种纳米压印屏蔽玻璃 [P].

刘振栋 .

中国专利 :CN206472448U ,2017-09-05

[6]

纳米压印工艺监测装置、方法和纳米压印设备 [P].

臧法珩 ;

赵东峰 ;

李琨 ;

董立超 ;

杜凯凯 ;

艾立夫 ;

王喆 ;

饶轶 .

中国专利 :CN111929987A ,2020-11-13

[7]

纳米压印方法及纳米压印设备 [P].

陈程 ;

彭豪杰 ;

何郴华 ;

顾睿 ;

李海虹 ;

初守庆 .

中国专利 :CN118605081A ,2024-09-06

[8]

纳米压印设备及纳米压印方法 [P].

李洋 ;

谈浩森 ;

陈宗镁 ;

冯光磊 .

中国专利 :CN121115398A ,2025-12-12

[9]

玻璃基板清洗设备及清洗工艺 [P].

刘正爱 ;

陶子鹏 ;

洪志王 ;

华德政 .

中国专利 :CN120094927A ,2025-06-06

[10]

玻璃基板清洗设备及清洗工艺 [P].

刘正爱 ;

陶子鹏 ;

洪志王 ;

华德政 .

中国专利 :CN120094927B ,2025-07-11

← 1 2 3 4 5 →