纳米压印工艺监测方法、监测装置及纳米压印设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011020304.6

申请日：

2020-09-25

公开(公告)号：

CN111929986A

公开(公告)日：

2020-11-13

发明(设计)人：

臧法珩赵东峰李琨董立超杜凯凯艾立夫王喆饶轶

申请人：

申请人地址：

261031 山东省潍坊市高新技术产业开发区东方路268号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

代理机构：

深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287

代理人：

梁馨怡

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20200925
2020-11-13	公开	公开

共 50 条

[1]

纳米压印工艺监测装置、方法和纳米压印设备 [P].

臧法珩 ;

赵东峰 ;

李琨 ;

董立超 ;

杜凯凯 ;

艾立夫 ;

王喆 ;

饶轶 .

中国专利 :CN111929987A ,2020-11-13

[2]

纳米压印方法及纳米压印设备 [P].

陈程 ;

彭豪杰 ;

何郴华 ;

顾睿 ;

李海虹 ;

初守庆 .

中国专利 :CN118605081A ,2024-09-06

[3]

纳米压印设备及纳米压印方法 [P].

李洋 ;

谈浩森 ;

陈宗镁 ;

冯光磊 .

中国专利 :CN121115398A ,2025-12-12

[4]

纳米压印设备、纳米压印方法 [P].

赵泽佳 ;

刘楚军 ;

张国庆 ;

徐斌 .

中国专利 :CN118192165A ,2024-06-14

[5]

纳米压印设备及压印方法 [P].

冀然 .

中国专利 :CN111913349A ,2020-11-10

[6]

纳米压印设备及方法 [P].

刘晓成 ;

史晓华 .

中国专利 :CN117331278A ,2024-01-02

[7]

纳米压印设备及方法 [P].

巴巴克·海达里 .

中国专利 :CN101271269A ,2008-09-24

[8]

纳米压印设备 [P].

鲁立国 ;

舒成悦 ;

范昶 .

美国专利 :CN221946331U ,2024-11-01

[9]

纳米压印设备 [P].

张欣 .

中国专利 :CN106483759A ,2017-03-08

[10]

一种纳米压印夹持装置及纳米压印设备 [P].

张志圣 ;

娄建 ;

马炳乾 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN214540376U ,2021-10-29

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