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高电子迁移率晶体管及其制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110733990.X
申请日：
2021-06-30
公开(公告)号：
CN113451393A
公开(公告)日：
2021-09-28
发明(设计)人：
童小东
邢利敏
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室（入驻前海商务秘书有限公司）
IPC主分类号：
H01L2906
IPC分类号：
H01L29778
H01L21335
代理机构：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人：
徐丽
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/06 申请日:20210630 |
| 2021-09-28 | 公开 | 公开 |