一种具有水循环机构的半导体硅片清洗装置

被引：0

申请号：

CN202122355042.5

申请日：

2021-09-28

公开(公告)号：

CN216174632U

公开(公告)日：

2022-04-05

发明(设计)人：

赵细海韩忠良李方良

申请人：

申请人地址：

215399 江苏省苏州市昆山市玉山镇燕桥浜路199号2#厂房

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B314 F26B2100 F26B2306 H01L2167

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种带烘干装置的半导体硅片的清洗装置 [P].

赵细海 ;

张先雷 ;

李方良 .

中国专利 :CN215696373U ,2022-02-01

[2]

一种具有烘干功能的半导体硅片用清洗装置 [P].

金恩泽 ;

王炜 ;

吴耀辉 ;

缪新海 ;

尹锺晚 ;

唐庆余 .

中国专利 :CN223587786U ,2025-11-25

[3]

半导体硅片的清洗装置 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN200997395Y ,2007-12-26

[4]

半导体硅片清洗装置 [P].

张晨骋 .

中国专利 :CN201348988Y ,2009-11-18

[5]

一种半导体硅片的清洗装置 [P].

赵叶 .

中国专利 :CN117293066B ,2024-01-30

[6]

一种半导体硅片的清洗装置 [P].

王茂荣 .

中国专利 :CN221335691U ,2024-07-16

[7]

一种具有水循环结构的轴承清洗装置 [P].

刘福达 ;

张东坤 ;

张保军 .

中国专利 :CN222659477U ,2025-03-25

[8]

一种半导体硅片用清洗装置 [P].

余涛 ;

朴灵绪 ;

郭巍 .

中国专利 :CN213826091U ,2021-07-30

[9]

一种具有水循环功能的清洗装置 [P].

连荣 .

中国专利 :CN221694524U ,2024-09-13

[10]

一种半导体硅片酸腐蚀机的循环清洗装置及其使用方法 [P].

张羽丰 ;

吴城垦 ;

张峰 ;

陈浩 ;

顾凯峰 ;

寿浙琼 ;

柴晓程 ;

冯磊 .

中国专利 :CN118737901A ,2024-10-01

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