一种薄液膜厚度测量装置

被引：0

申请号：

CN202220767062.5

申请日：

2022-03-31

公开(公告)号：

CN217210728U

公开(公告)日：

2022-08-16

发明(设计)人：

张友佳李华岳太文兰治科谢士杰李永亮昝元锋

申请人：

申请人地址：

610213 四川省成都市双流区长顺大道一段328号

IPC主分类号：

G01B706

IPC分类号：

代理机构：

成都正德明志知识产权代理有限公司 51360

代理人：

鲍利蕊

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种液膜厚度测量装置 [P].

周亚素 ;

王树信 ;

彭泰铭 ;

叶涛 ;

霍伟业 ;

刘阳荷 ;

龙姝豪 ;

贾改艳 .

中国专利 :CN207610670U ,2018-07-13

[2]

一种推力轴承液膜厚度测量装置 [P].

程剑 ;

卢熙宁 ;

赵正华 .

中国专利 :CN213956289U ,2021-08-13

[3]

一种吹膜厚度测量装置 [P].

李国华 ;

潘栩锋 ;

冯伟球 ;

冒涛 ;

陈文铭 .

中国专利 :CN214842997U ,2021-11-23

[4]

一种湿膜厚度测量装置 [P].

李涛 ;

石锗元 ;

李君 ;

肖伟 .

中国专利 :CN221924894U ,2024-10-29

[5]

一种环境可控的薄液膜厚度自动测量装置 [P].

王贵 ;

胡杰珍 ;

刘海涛 ;

张贵林 ;

朱志辉 .

中国专利 :CN103615964A ,2014-03-05

[6]

一种液膜厚度测量装置及方法 [P].

周亚素 ;

王树信 ;

彭泰铭 ;

叶涛 ;

霍伟业 ;

刘阳荷 ;

龙姝豪 ;

贾改艳 .

中国专利 :CN107860322A ,2018-03-30

[7]

膜层厚度测量装置 [P].

焦阳 ;

严翔 ;

闫晓晖 ;

丁丽真 .

中国专利 :CN223122176U ,2025-07-18

[8]

一种激光减薄晶圆厚度测量装置 [P].

陶为银 ;

巩铁建 .

中国专利 :CN212843427U ,2021-03-30

[9]

一种薄型材料厚度测量装置 [P].

陈广锋 ;

程思远 ;

管观洋 ;

裴泽光 ;

陈振中 .

中国专利 :CN107421454A ,2017-12-01

[10]

一种减薄机的晶圆厚度测量装置 [P].

李如清 .

中国专利 :CN221549607U ,2024-08-16

← 1 2 3 4 5 →