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一种液膜厚度测量装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201721689926.1
申请日
:
2017-12-07
公开(公告)号
:
CN207610670U
公开(公告)日
:
2018-07-13
发明(设计)人
:
周亚素
王树信
彭泰铭
叶涛
霍伟业
刘阳荷
龙姝豪
贾改艳
申请人
:
申请人地址
:
201620 上海市松江区松江新城人民北路2999号
IPC主分类号
:
G01B1106
IPC分类号
:
代理机构
:
上海泰能知识产权代理事务所 31233
代理人
:
宋缨;钱文斌
法律状态
:
专利权的终止
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2019-11-22
专利权的终止
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20171207 授权公告日:20180713 终止日期:20181207
2018-07-13
授权
授权
共 50 条
[1]
一种液膜厚度测量装置及方法
[P].
周亚素
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周亚素
;
王树信
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王树信
;
彭泰铭
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彭泰铭
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叶涛
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叶涛
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霍伟业
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霍伟业
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刘阳荷
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刘阳荷
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龙姝豪
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龙姝豪
;
贾改艳
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贾改艳
.
中国专利
:CN107860322A
,2018-03-30
[2]
一种薄液膜厚度测量装置
[P].
张友佳
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张友佳
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李华
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李华
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岳太文
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岳太文
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兰治科
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兰治科
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谢士杰
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谢士杰
;
李永亮
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李永亮
;
昝元锋
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昝元锋
.
中国专利
:CN217210728U
,2022-08-16
[3]
一种推力轴承液膜厚度测量装置
[P].
程剑
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程剑
;
卢熙宁
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卢熙宁
;
赵正华
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赵正华
.
中国专利
:CN213956289U
,2021-08-13
[4]
一种吹膜厚度测量装置
[P].
李国华
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李国华
;
潘栩锋
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潘栩锋
;
冯伟球
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冯伟球
;
冒涛
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冒涛
;
陈文铭
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陈文铭
.
中国专利
:CN214842997U
,2021-11-23
[5]
一种湿膜厚度测量装置
[P].
李涛
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君原电子科技(海宁)有限公司
君原电子科技(海宁)有限公司
李涛
;
石锗元
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君原电子科技(海宁)有限公司
君原电子科技(海宁)有限公司
石锗元
;
李君
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机构:
君原电子科技(海宁)有限公司
君原电子科技(海宁)有限公司
李君
;
肖伟
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机构:
君原电子科技(海宁)有限公司
君原电子科技(海宁)有限公司
肖伟
.
中国专利
:CN221924894U
,2024-10-29
[6]
膜层厚度测量装置
[P].
焦阳
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上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
焦阳
;
严翔
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上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
严翔
;
闫晓晖
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上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
闫晓晖
;
丁丽真
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上海积塔半导体有限公司
上海积塔半导体有限公司
丁丽真
.
中国专利
:CN223122176U
,2025-07-18
[7]
膜厚度测量方法及膜厚度测量装置
[P].
近藤孝司
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近藤孝司
;
冈田奈雄登
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冈田奈雄登
;
荒牧裕胜
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荒牧裕胜
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岩本胜哉
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岩本胜哉
.
中国专利
:CN109253700B
,2019-01-22
[8]
膜厚度测量装置和膜厚度测量方法
[P].
高柳顺
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高柳顺
;
大竹秀幸
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大竹秀幸
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相京秀幸
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相京秀幸
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藤沢泰成
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藤沢泰成
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锅岛淳男
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锅岛淳男
.
中国专利
:CN105403178A
,2016-03-16
[9]
一种石墨烯涂布膜厚度测量装置
[P].
蔡金明
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蔡金明
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廖骏华
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廖骏华
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温清高
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温清高
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黄琳
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黄琳
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王伟
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王伟
.
中国专利
:CN217403328U
,2022-09-09
[10]
一种浮法抛光液膜厚度测量装置
[P].
徐长山
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徐长山
;
王君林
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王君林
.
中国专利
:CN1176350C
,2002-12-25
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