用于从基片上去除边缘聚合物的装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680035450.8

申请日：

2006-09-15

公开(公告)号：

CN101273439B

公开(公告)日：

2008-09-24

发明(设计)人：

衡石·亚历山大·尹金允尚贾森·A·赖德安德鲁·D·贝利三世

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21203

IPC分类号：

H01L21461

代理机构：

上海华晖信康知识产权代理事务所(普通合伙) 31244

代理人：

樊英如

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-05-19	授权	授权
2008-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-09-24	公开	公开

共 50 条

[1]

用于从基片去除氟化聚合物的装置和方法 [P].

衡石·亚历山大·尹 ;

约翰·博伊德 ;

安德拉斯·库蒂 ;

安德鲁·D·贝利三世 .

中国专利 :CN101273429A ,2008-09-24

[2]

用于从基片去除金属氧化物的装置和方法 [P].

衡石·亚历山大·尹 ;

威廉·蒂 ;

耶兹迪·多尔迪 ;

安德鲁·D·贝利三世 .

中国专利 :CN101272881A ,2008-09-24

[3]

用于从基片去除金属氧化物的装置和方法 [P].

衡石·亚历山大·尹 ;

威廉·蒂 ;

耶兹迪·多尔迪 ;

安德鲁·D·贝利三世 .

中国专利 :CN103383915A ,2013-11-06

[4]

从聚合物材料去除油漆的方法 [P].

迈克尔·蒙哥马利 .

中国专利 :CN1370097A ,2002-09-18

[5]

用于从基底上去除物质的方法和组合物 [P].

M.W.奎伦 ;

D.E.奥德尔 ;

Z.P.李 ;

J.C.穆尔 ;

S.E.霍赫斯特特勒 ;

R.D.彼得斯 ;

R.S.阿门特罗特 ;

D.W.马克 ;

E.麦克恩泰尔 .

中国专利 :CN103108945A ,2013-05-15

[6]

用于从聚合物材料中去除增塑剂的方法 [P].

S·威策尔 ;

C·赖因 ;

A·格里姆 ;

M·普费弗尔 ;

R·帕普 ;

H·莫根施特恩 .

德国专利 :CN120380071A ,2025-07-25

[7]

从原油中去除采油聚合物的方法 [P].

石立红 .

中国专利 :CN105295987B ,2016-02-03

[8]

用于从基片边缘去除副产物组的装置和方法 [P].

金允尚 ;

安德鲁·D·贝利三世 ;

衡石·亚历山大·尹 .

中国专利 :CN101370965A ,2009-02-18

[9]

用于从生物聚合物材料中去除杂质的方法 [P].

J·C·M·E·本德尔 ;

P·S·韦尔默朗 .

中国专利 :CN102099379B ,2011-06-15

[10]

聚合物的去除方法 [P].

孙文彦 ;

王一 ;

许鹏凯 .

中国专利 :CN110600376B ,2019-12-20

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