用于从基片去除金属氧化物的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310285295.7

申请日：

2006-09-22

公开(公告)号：

CN103383915A

公开(公告)日：

2013-11-06

发明(设计)人：

衡石·亚历山大·尹威廉·蒂耶兹迪·多尔迪安德鲁·D·贝利三世

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21311

IPC分类号：

H01L2102 H01L2167 H05H124

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101547933616 IPC(主分类):H01L 21/311 专利申请号:2013102852957 申请日:20060922
2013-11-06	公开	公开
2018-09-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/311 申请日:20060922 授权公告日:20161102 终止日期:20170922
2016-11-02	授权	授权

共 50 条

[1]

用于从基片去除金属氧化物的装置和方法 [P].

衡石·亚历山大·尹 ;

威廉·蒂 ;

耶兹迪·多尔迪 ;

安德鲁·D·贝利三世 .

中国专利 :CN101272881A ,2008-09-24

[2]

用于从基片去除氟化聚合物的装置和方法 [P].

衡石·亚历山大·尹 ;

约翰·博伊德 ;

安德拉斯·库蒂 ;

安德鲁·D·贝利三世 .

中国专利 :CN101273429A ,2008-09-24

[3]

用于从金属基材去除氧化物的方法和装置 [P].

杨佑浩 ;

张利明 ;

武颖娜 ;

劳伦斯·J·维姆日 ;

周宏 ;

朱慧 ;

林川 .

中国专利 :CN106637267A ,2017-05-10

[4]

用于从金属基材去除氧化物的方法和装置 [P].

杨佑浩 ;

张利明 ;

武颖娜 ;

劳伦斯·J·维姆日 ;

周宏 ;

朱慧 ;

林川 .

中国专利 :CN106637266A ,2017-05-10

[5]

用于去除金属氧化物的方法 [P].

阿米里塔·B·穆利克 ;

乌代·米特拉 ;

瑞加娜·弗雷德 .

中国专利 :CN110223955A ,2019-09-10

[6]

用于从基片上去除边缘聚合物的装置 [P].

衡石·亚历山大·尹 ;

金允尚 ;

贾森·A·赖德 ;

安德鲁·D·贝利三世 .

中国专利 :CN101273439B ,2008-09-24

[7]

金属氧化物去除方法及装置 [P].

李晓伟 .

中国专利 :CN111627828A ,2020-09-04

[8]

金属氧化物的选择去除 [P].

克里斯托弗·C·霍布斯 ;

菲利普·J·托宾 .

中国专利 :CN1305117C ,2005-01-19

[9]

从衬底去除氧化物的方法和系统 [P].

安东尼·迪朴 ;

艾伦·约翰·利思 ;

吴昇昊 .

中国专利 :CN101151712A ,2008-03-26

[10]

金属氧化物、金属氧化物的沉积方法及金属氧化物的沉积装置 [P].

山崎舜平 ;

神保安弘 ;

惠木勇司 ;

挂端哲弥 .

中国专利 :CN115152006A ,2022-10-04

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